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全自動(dòng)液體蠟貼片機(jī)

TLB-360F/485F/576F

該系列設(shè)備是全自動(dòng)液體蠟貼片機(jī),，采用機(jī)械手全自動(dòng)上片，配有上下料倉(cāng)全自動(dòng)搬運(yùn)流轉(zhuǎn)陶瓷盤(pán),，自動(dòng)完成晶圓的DIW清洗,、滴蠟、甩蠟,、烘烤,、貼片工序，自動(dòng)氣囊壓片,，貼蠟效果好,，精度高，適用于各種半導(dǎo)體襯底材料拋光前的全自動(dòng)貼片,。

TLB-360FTLB-485FTLB-576F

晶圓尺寸2-6英寸

陶瓷盤(pán)規(guī)格OD360 mm

清洗工位純水+PVA刷

壓片裝置氣囊+氣缸二段壓片

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