參考價格
面議型號
SBC-16品牌
kyky產地
北京樣本
暫無控制方式：
自動靶材材質：
Au 靶為標配,，可選 Pt,，直徑 57mm x 0.1mm 厚靶材尺寸：
-樣品倉尺寸：
-樣品臺尺寸：
可以裝載 12 個 SEM 樣品座，高度可調范圍為 60mm濺射氣體：
放氣以及氬氣換氣控制看了SBC-16 磁控離子濺射儀的用戶又看了
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SBC-16 是一款結構緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng)，特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜,。
主要特性
通過高效低壓直流磁控頭進行冷態(tài)精細的噴鍍過程,，避免樣品表面受損。
操作容易快捷,， 控制的參數包括放氣以及氬氣換氣控制,。
數字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氣壓影響，可得到一致的鍍膜速率和**的鍍膜效果,。
可使用多種金屬靶材：Au,， Au/Pd,，Pt,,，Pt/Pd（Au 靶為標配）,， 靶材更換快速方便。
技術參數
濺射系統(tǒng) | |
靶材 | Au 靶為標配,，可選 Pt,，直徑 57mm x 0.1mm 厚 |
標準樣品臺 | 可以裝載 12 個 SEM 樣品座，高度可調范圍為 60mm |
旋轉傾斜樣品臺（選配） | 旋轉速度： 0~60rpm 連續(xù)可調,，傾斜角度： -90 °~ 90°連續(xù)可調,； 不銹鋼腔體：直徑 120mm X 高 75mm； 觀察窗：直徑 120mm X 高 45mm,； 標配旋轉臺直徑 40mm,，可放 4 個標準樣品臺， 其它規(guī)格可訂做,； 具有雙重鎖緊裝置， 可確保樣品在旋轉傾斜時不會松動脫落,。 |
濺射電流 | 微處理器控制,， 安全互鎖，可調,，電流 5~30mA,，程序化數字控制 |
計量表 | 真空： Atm - 1*10-3 mbar，電流： 0~99mA |
控制方法 | 帶有 “開始”“暫?！卑粹o的微處理控制器（1－999s）,，自動抽氣、濺 射,、關機后自動放氣,。 |
真空系統(tǒng) | |
抽氣速率 | 133L/MIN |
極限真空 | 10-4 mbar 級 |
噪音 | 56dB |
暫無數據！
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