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SBC-16 磁控離子濺射儀
SBC-16 磁控離子濺射儀

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

SBC-16

品牌

kyky

產(chǎn)地

北京

樣本

暫無(wú)
北京中科科儀股份有限公司

高級(jí)會(huì)員

|

第8年

|

生產(chǎn)商

工商已核實(shí)

留言詢價(jià)
電話詢價(jià)
核心參數(shù)
  • 控制方式:

    自動(dòng)
  • 靶材材質(zhì):

    Au 靶為標(biāo)配,,可選 Pt,,直徑 57mm x 0.1mm 厚
  • 靶材尺寸:

    -
  • 樣品倉(cāng)尺寸:

    -
  • 樣品臺(tái)尺寸:

    可以裝載 12 個(gè) SEM 樣品座,高度可調(diào)范圍為 60mm
  • 濺射氣體:

    放氣以及氬氣換氣控制
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SBC-16 是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng),,特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜,。

 

主要特性

 

  通過(guò)高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過(guò)程,避免樣品表面受損,。

  操作容易快捷, 控制的參數(shù)包括放氣以及氬氣換氣控制,。

  數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氣壓影響,可得到一致的鍍膜速率和**的鍍膜效果,。

  可使用多種金屬靶材:Au Au/Pd,,,Pt,,,Pt/PdAu 靶為標(biāo)配), 靶材更換快速方便,。

 

技術(shù)參數(shù)

 

濺射系統(tǒng)

靶材

Au 靶為標(biāo)配,,可選 Pt,直徑 57mm x 0.1mm

標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)

可以裝載 12 個(gè) SEM 樣品座,高度可調(diào)范圍 60mm

 

 

旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺(tái)(選配)

旋轉(zhuǎn)速度: 0~60rpm 連續(xù)可調(diào),,傾斜角度: -90 °~ 90°連續(xù)可調(diào),;

不銹鋼腔體:直徑 120mm X  75mm,;

觀察窗:直徑 120mm X  45mm

標(biāo)配旋轉(zhuǎn)臺(tái)直徑 40mm,,可放 4 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái),, 其它規(guī)格可訂做; 具有雙重鎖緊裝置,, 可確保樣品在旋轉(zhuǎn)傾斜時(shí)不會(huì)松動(dòng)脫落。

濺射電流

微處理器控制,, 安全互鎖,,可調(diào),電流 5~30mA,,程序化數(shù)字控制

計(jì)量表

真空:  Atm - 1*10-3 mbar,,電流: 0~99mA

控制方法

帶有 “開(kāi)始”“暫停”按鈕的微處理控制器(1999s),,自動(dòng)抽氣,、濺 射、關(guān)機(jī)后自動(dòng)放氣,。

真空系統(tǒng)

抽氣速率

133L/MIN

極限真空

10-4  mbar 級(jí)

噪音

56dB


創(chuàng)新點(diǎn)

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10分

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10分

易用性

10分

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