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S100-QR快速響應(yīng)氣體層流質(zhì)量流量計(jì)品牌
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快速響應(yīng),、精確測(cè)量氣體流量
*小流量：0.1SCCM **流量：5000SLPM
S100-QR快速響應(yīng)氣體層流質(zhì)量流量計(jì)在S100基礎(chǔ)上提高快速響應(yīng)時(shí)間，從100ms縮短至20ms,大幅提高流量測(cè)量效率,，節(jié)省工藝成本,，精度保持在±1%讀數(shù)，適用氣體快速波動(dòng)下的流量精確測(cè)量,。
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