生產能力：
-空氣速度：
-輸送能力：
-輸送距離：
-工作原理：
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生產型磁控濺射設備是針對生產企業(yè)實驗室和產線研發(fā)的一系列高性能,、高效率的磁控濺射裝備。MSI-200型磁控濺射設備采用多個真空腔室互聯的設計,，通過Cluster內置的三維機械手實現晶圓的傳輸,，可搭配多個濺射室或處理腔室，適用于生產產線或實驗線,。
性能參數
晶圓尺寸 | 8吋向下兼容 |
| 極限真空 | 優(yōu)于5×10-10mbar |
| 對接口 | 每節(jié)管道可連接一套系統(tǒng),，對接口CF250及以下。 |
| 傳輸裝置 | 磁力傳輸,，可同時傳輸多片 |
| 進樣室 | 可選配獨立進樣室 |
| 校準裝置 | 光電傳感器 |
| 真空系統(tǒng) | 機械泵+分子泵,，可選離子泵等 |
控制系統(tǒng) | PC+PLC 安全互鎖，碰撞保護,真空互鎖等 |
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