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該產(chǎn)品石英玻璃棒,，石英玻璃片,，經(jīng)過開槽，焊接,，磨砂等工藝加工制成,。在半導(dǎo)體制造過程中，它用于承載和運輸半導(dǎo)體wafer,、芯片制造過程中的高溫?zé)崽幚砉に囍?，也用于燃燒化學(xué)蒸發(fā)、氣相輸運,、淀積,、擴散、蝕刻,、退火等工序,。石英舟具有高溫耐腐蝕性能和良好的化學(xué)穩(wěn)定性，能夠承受高溫高壓環(huán)境,，而且具有優(yōu)異的熱傳導(dǎo)性能和熱穩(wěn)定性,，可以保證熱處理過程的高精度和高質(zhì)量，從而獲得更好的半導(dǎo)體產(chǎn)品質(zhì)量,。
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