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在半導(dǎo)體制造中因其高純度,、高溫穩(wěn)定性和耐化學(xué)腐蝕性能而被廣泛應(yīng)用。配合內(nèi)管用于化學(xué)氣相沉積（CVD）及其增強(qiáng)版（PECVD）,，以供進(jìn)氣及測溫,。在這些過程中,，石英外管提供了一個純凈,、穩(wěn)定的環(huán)境,，防止雜質(zhì)污染,，是半導(dǎo)體制造過程中不可或缺的重要材料,。
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