參考價(jià)格
面議型號(hào)
全自動(dòng)膜厚測量儀EA-160品牌
PTC產(chǎn)地
廣東樣本
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EA-160是一款全自動(dòng)非接觸式表面測量儀。利用光譜共焦原理,,EA-160可用于膜厚線寬測量、微觀尺寸測量、高度差測量,、平面度測量,、共面度測量、粗糙度測量等,,也可對(duì)透明半透明材質(zhì)進(jìn)行多層尺寸測量。高精度,、高速測量,,結(jié)合強(qiáng)大易用的軟件,EA-160膜厚測試儀被廣泛應(yīng)用于微電子,、半導(dǎo)體、5G,、3D玻璃,、新型醫(yī)療,、精密工業(yè)制造等領(lǐng)域。
應(yīng)用領(lǐng)域:
HTCC膜厚線寬測量,、LTCC膜厚線寬測量,、SOFC印刷厚度測試、厚膜電路測量,、晶圓涂膠測量、MEMS測量,、SENSOR測量,、太陽能硅片測量、芯片形貌測量,、透明材質(zhì)測量,、環(huán)氧樹脂測量、印刷圖形測量,、激光鐳雕測量、Wafer槽深測量,、斷差測量,、Lens測量、油墨厚度測量,、藍(lán)寶石厚度測量、曲面鏡片測量
特點(diǎn):
高速度,、高精度自動(dòng)測量系統(tǒng)
**160mm*160mm 范圍測量
透明材質(zhì)穿透測量
測量膜厚,、線寬,、平面度等
多程序自由切換,方便靈活
參數(shù):
設(shè)備品名 | 全自動(dòng)非接觸膜厚測試儀 |
設(shè)備型號(hào) | EA-160 |
XY測量行程 | 160*160mm |
Z軸可調(diào)行程 | 50mm |
掃描*小步距 | 1um |
**掃描速度 | 30mm/s |
陶瓷檢測重復(fù)精度 | ±0.5μm |
Z向分辨率 | 1nm |
橫線分辨率 | 0.1um |
光柵尺分辨率 | 0.01um |
量程 | 1200um |
測試方式 | 可編程自動(dòng)測量 |
MARK類型 | 圓形、方形,、十字、菱形,、多邊形,、不規(guī)則圖形 |
載物平臺(tái) | 微孔陶瓷真空吸附平臺(tái) |
膜厚測試 | 支持 |
線寬測試 | 支持 |
粗糙度測試 | 支持 |
透明材料自動(dòng)測厚 | 支持 |
孔深,、刻槽深度測試 | 支持 |
測量原理 | 光譜共焦 |
CCD視覺 | 500萬 |
紅外激光對(duì)準(zhǔn)器 | 標(biāo)配 |
數(shù)據(jù)輸出 | Excel,、CSV格式,、JPG格式 |
數(shù)據(jù)分析 | CPK |
數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì) | 平均值,**值,,*小值,極差,,標(biāo)準(zhǔn)差,,CP,CPK,,良率,,總數(shù) |
數(shù)據(jù)接口 | 串口協(xié)議、網(wǎng)口協(xié)議 |
接口類型 | RS485,、RS232、RJ45 |
數(shù)據(jù)存儲(chǔ) | 存儲(chǔ)位置任意指定 |
數(shù)據(jù)回測 | 任意節(jié)點(diǎn)數(shù)據(jù)回測 |
MES信息化系統(tǒng) | 支持 |
設(shè)備日志 | 具備 |
操作系統(tǒng) | WIN10 |
校驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)塊規(guī) | 標(biāo)配 |
三角塊規(guī) | 標(biāo)配 |
外觀尺寸 | 950*650*500mm |
電源 | AC220V±10%,50-60Hz |
氣源壓縮空氣 | 0.3~0.7Mpa或真空氣源 |
重量 | 250KG |
工控主機(jī) | 內(nèi)存8G,、固態(tài)硬盤480G,、顯示器23.8“,、分辨率1920*1080,,高速千兆網(wǎng)口PCI*2 |
暫無數(shù)據(jù)!