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全自動膜厚測量儀EA-160品牌
PTC產(chǎn)地
廣東樣本
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EA-160是一款全自動非接觸式表面測量儀。利用光譜共焦原理,，EA-160可用于膜厚線寬測量,、微觀尺寸測量、高度差測量,、平面度測量,、共面度測量,、粗糙度測量等，也可對透明半透明材質(zhì)進行多層尺寸測量,。高精度,、高速測量，結(jié)合強大易用的軟件,，EA-160膜厚測試儀被廣泛應用于微電子,、半導體、5G,、3D玻璃,、新型醫(yī)療、精密工業(yè)制造等領(lǐng)域,。
應用領(lǐng)域：
HTCC膜厚線寬測量,、LTCC膜厚線寬測量、SOFC印刷厚度測試,、厚膜電路測量,、晶圓涂膠測量、MEMS測量,、SENSOR測量,、太陽能硅片測量、芯片形貌測量,、透明材質(zhì)測量,、環(huán)氧樹脂測量、印刷圖形測量,、激光鐳雕測量、Wafer槽深測量,、斷差測量,、Lens測量、油墨厚度測量,、藍寶石厚度測量,、曲面鏡片測量
特點：
高速度、高精度自動測量系統(tǒng)
**160mm*160mm 范圍測量
透明材質(zhì)穿透測量
測量膜厚,、線寬,、平面度等
多程序自由切換，方便靈活
參數(shù)：
| 設備品名 | 全自動非接觸膜厚測試儀 |
| 設備型號 | EA-160 |
| XY測量行程 | 160*160mm |
| Z軸可調(diào)行程 | 50mm |
| 掃描*小步距 | 1um |
| **掃描速度 | 30mm/s |
| 陶瓷檢測重復精度 | ±0.5μm |
| Z向分辨率 | 1nm |
| 橫線分辨率 | 0.1um |
| 光柵尺分辨率 | 0.01um |
| 量程 | 1200um |
| 測試方式 | 可編程自動測量 |
| MARK類型 | 圓形,、方形,、十字、菱形,、多邊形,、不規(guī)則圖形 |
| 載物平臺 | 微孔陶瓷真空吸附平臺 |
| 膜厚測試 | 支持 |
| 線寬測試 | 支持 |
| 粗糙度測試 | 支持 |
| 透明材料自動測厚 | 支持 |
| 孔深,、刻槽深度測試 | 支持 |
| 測量原理 | 光譜共焦 |
| CCD視覺 | 500萬 |
| 紅外激光對準器 | 標配 |
| 數(shù)據(jù)輸出 | Excel、CSV格式,、JPG格式 |
| 數(shù)據(jù)分析 | CPK |
| 數(shù)據(jù)統(tǒng)計 | 平均值,，**值，*小值,，極差,，標準差，CP,，CPK,，良率，總數(shù) |
| 數(shù)據(jù)接口 | 串口協(xié)議,、網(wǎng)口協(xié)議 |
| 接口類型 | RS485,、RS232、RJ45 |
| 數(shù)據(jù)存儲 | 存儲位置任意指定 |
| 數(shù)據(jù)回測 | 任意節(jié)點數(shù)據(jù)回測 |
| MES信息化系統(tǒng) | 支持 |
| 設備日志 | 具備 |
| 操作系統(tǒng) | WIN10 |
| 校驗標準塊規(guī) | 標配 |
| 三角塊規(guī) | 標配 |
| 外觀尺寸 | 950*650*500mm |
| 電源 | AC220V±10%,50-60Hz |
| 氣源壓縮空氣 | 0.3~0.7Mpa或真空氣源 |
| 重量 | 250KG |
| 工控主機 | 內(nèi)存8G,、固態(tài)硬盤480G,、顯示器23.8“、分辨率1920*1080,，高速千兆網(wǎng)口PCI*2 |
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