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主要技術(shù)參數(shù):研磨拋光**晶圓尺寸6英寸;盤速5-100rpm;

滴料1-100m1/min均勻可調(diào);雙蠕動(dòng)泵供料;

擺臂擺動(dòng)幅度0-15度可調(diào);擺臂擺動(dòng)速度均勻可調(diào);全液晶屏控制,。

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