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產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

EVG 850TB是一款全自動(dòng)臨時(shí)鍵合平臺(tái),，采用模塊化設(shè)計(jì),，可集成對(duì)準(zhǔn)、臨時(shí)鍵合,、固化等模塊,，兼容多種品牌和類型的臨時(shí)鍵合材料例如粘合劑、膠帶等,。

主要特點(diǎn)及參數(shù)：

·**支持12英寸（300mm）晶圓

·支持硅,、玻璃、藍(lán)寶石等各種載體

·支持不同尺寸基版的鍵合

·主要模塊：

涂膠模塊

烘烤模塊

對(duì)準(zhǔn)模塊（光學(xué)或機(jī)械對(duì)準(zhǔn)）

鍵合模塊