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產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

EVG GEMINI是一款全自動(dòng)多腔室晶圓鍵合工藝平臺(tái),，實(shí)現(xiàn)了高程度的集成度和自動(dòng)化，適用于大型量產(chǎn),。

主要特點(diǎn)及參數(shù)：

·**支持12英寸（300mm）晶圓

·*多兼容4個(gè)鍵合腔室和6個(gè)預(yù)處理腔室

·兼容底部對(duì)準(zhǔn),、紅外對(duì)準(zhǔn)以及SmartView對(duì)準(zhǔn)

·可選配模塊：

低溫等離子體活化

晶圓清洗

涂膠模塊

UV固化模塊

烘烤/冷卻模塊

對(duì)準(zhǔn)驗(yàn)證模塊