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石墨盤在外延設備中起著至關重要的作用,。n硅晶片在成為半導體成品前,，需要經(jīng)過許多步驟，其中一個關鍵的工藝流程即是硅外延,。n潤石新材料生產(chǎn)的半導體外延片生長的CVD石墨盤采用日本TOYO,TOKAI,以及德國SGL進口石墨,，可以達到≤5PPM的純度，具有更好的穩(wěn)定性,、更長的使用壽命,。建議使用材料：SGL6510、SGL6650,、HK-2,、HK-5
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