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WEP+CVP21+電化學(xué)ECV ,摻雜濃度PN結(jié)深測(cè)試
WEP+CVP21+電化學(xué)ECV ,摻雜濃度PN結(jié)深測(cè)試

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儀器簡(jiǎn)介:電化學(xué)ECV,,摻雜濃度檢測(cè)(C-V Profiling)PN結(jié)深測(cè)試

電化學(xué)ECV可以用于太陽(yáng)能電池,、LED等產(chǎn)業(yè),是化合物半導(dǎo)體材料研究或開(kāi)發(fā)的主要工具之一,。

電化學(xué)ECV主要用于半導(dǎo)體材料的研究及開(kāi)發(fā),,其原理是使用電化學(xué)電容-電壓法來(lái)測(cè)量半導(dǎo)體材料的摻雜濃度分布。

電化學(xué)ECV(CV-Profiler,, C-V Profiler)也是分析或發(fā)展半導(dǎo)體光-電化學(xué)濕法蝕刻(PEC Etching)很好的選擇,。

本設(shè)備適用于評(píng)估和控制在半導(dǎo)體生產(chǎn)中的外延過(guò)程并且以被使用在多種不同的材料上, 例如:Silicon,, Germanium,, III-V including III-Nitrides.

CVP 21 的凈室和模塊化的系統(tǒng)設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)使得本系統(tǒng)可以高效率,,準(zhǔn)確的測(cè)量半導(dǎo)體材料(結(jié)構(gòu),層)中的摻雜濃度分布.選用合適的電解液與材料接觸,,腐蝕,,從而得到材料的摻雜濃度分布。電容值電壓掃描和腐蝕過(guò)程由軟件全自動(dòng)控制

CVP21的系統(tǒng)特點(diǎn)

• 堅(jiān)固可靠的模塊化系統(tǒng)結(jié)構(gòu) .光學(xué),,電子和化學(xué)部分相對(duì)獨(dú)立.

• 精確的測(cè)量電路模塊

• 強(qiáng)力的控制軟件,,系統(tǒng)操作,使用簡(jiǎn)便

• 完善的售后服務(wù)

提供免費(fèi)樣品測(cè)試并提供測(cè)試報(bào)告,。

保修期:2年,,終身維修,。

對(duì)用戶承諾終身免費(fèi)樣品測(cè)試每月1次,。

技術(shù)參數(shù):

產(chǎn)品**結(jié)合我們?cè)陔娀瘜W(xué)方分布測(cè)試方面超過(guò)30年的經(jīng)驗(yàn)和世界上***的電路系統(tǒng)?!?

全自動(dòng),, 特別適用于新材料, 如氮化鎵,, 碳化硅材料等,。 

有效檢測(cè):

•外延材料

•擴(kuò)散

•離子注入

適用材料: CVP21應(yīng)用范圍寬,,可以用于絕大多數(shù)的半導(dǎo)體材料,。

IV族化合物半導(dǎo)體如:硅(Si)、鍺(Ge),、碳化硅(SiC)等…

III-V族化合物半導(dǎo)體如:砷化鎵(GaAs),、磷化銦(InP)、磷化鎵(GaP)等…

三元III-V族化合物半導(dǎo)體如:鋁鎵砷(AlGaAs),、鎵銦磷(GaInP),、鋁銦砷(AlInAs)等…

四元III-V族化合物半導(dǎo)體如:鋁鎵銦磷(AlGaInP)等…

氮化物如:氮化鎵(GaN)、鋁鎵氮(AlGaN),、銦鎵氮(InGaN),、鋁銦氮(AlInN)等…

II-VI族化合物半導(dǎo)體如:氧化鋅(ZnO)、碲化鎘(CdTe),、汞鎘碲(HgCdTe)等…

其他不常見(jiàn)半導(dǎo)體材料(可以聯(lián)系我們進(jìn)行樣品測(cè)量),。

 

載流子濃度測(cè)量范圍:

•** 1021/cm³

•*小 1011/cm³

深度解析度:

•**無(wú)上限

•*小可至1 nm (或更低)

模塊化系統(tǒng)結(jié)構(gòu):

•拓?fù)湫徒Y(jié)構(gòu)

•實(shí)時(shí)監(jiān)控腐蝕過(guò)程

•適于微小樣品及大尺寸的晶圓

全自動(dòng)化系統(tǒng):

主要特點(diǎn):

CVP21電化學(xué)ECV是半導(dǎo)體載流子濃度分布**的解決方案:

1, CVP21應(yīng)用范圍寬,,可以用于絕大多數(shù)的半導(dǎo)體材料,。

* IV族化合物半導(dǎo)體如:硅(Si)、鍺(Ge),、碳化硅(SiC)等…

* III-V族化合物半導(dǎo)體如:砷化鎵(GaAs),、磷化銦(InP),、磷化鎵(GaP)等…

* 三元III-V族化合物半導(dǎo)體如:鋁鎵砷(AlGaAs)、鎵銦磷(GaInP),、鋁銦砷(AlInAs)等…

* 四元III-V族化合物半導(dǎo)體如:鋁鎵銦磷(AlGaInP)等…

* 氮化物如:氮化鎵(GaN),、鋁鎵氮(AlGaN)、銦鎵氮(InGaN),、鋁銦氮(AlInN)等…

* II-VI族化合物半導(dǎo)體如:氧化鋅(ZnO),、碲化鎘(CdTe)、汞鎘碲(HgCdTe)等…

* 其他不常見(jiàn)半導(dǎo)體材料(可以聯(lián)系我們進(jìn)行樣品測(cè)量),。

2,, CVP21可用于不同形態(tài)的樣品:多層結(jié)構(gòu)的薄膜材料、基底沒(méi)有限制(基底導(dǎo)電或絕緣均可),、標(biāo)準(zhǔn)樣品尺寸從4*2mm ~ 8英寸晶圓(更小尺寸樣品請(qǐng)預(yù)先咨詢我們),。

3, CVP21擁有很好的分辨率范圍,。

* 載流子濃度分辨率范圍從< 1012 cm-3 ~ > 1021 cm-3

* 深度分辨率范圍從1nm ~ 100um (依樣品類型,、樣品質(zhì)量決定)

4, CVP21是一套完整的電化學(xué)ECV測(cè)量系統(tǒng),。

* 系統(tǒng)可靠性高(儀器的電子,、機(jī)械、光學(xué),、液體傳動(dòng)幾個(gè)主要部分均經(jīng)特殊設(shè)計(jì))

* 免校準(zhǔn)的系統(tǒng)(完全自校準(zhǔn)的電子系統(tǒng),,電纜電容均無(wú)須用戶再次校準(zhǔn))

* 易于使用(全用戶管理軟件優(yōu)化,在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境或生產(chǎn)環(huán)境均易于使用)

* 照相機(jī)鏡頭控制(過(guò)程在線由彩色照相機(jī)鏡頭控制,;每次測(cè)量后,,鏡頭數(shù)據(jù)均可取出。)

* 實(shí)驗(yàn)菜單(測(cè)量菜單預(yù)定義,,優(yōu)先權(quán)用戶可以很容易修改或改進(jìn)測(cè)量菜單)

* Dry-In/Dry-Out: Auto-Load/Unload/Reload (電化學(xué)樣品池自動(dòng)裝載/卸載/再裝載,,優(yōu)先權(quán)用戶易于修改,進(jìn)行樣品dry-in/dry-out處理,。)

創(chuàng)新點(diǎn)

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
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