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108真空鍍膜儀是一款結(jié)構(gòu)緊湊的手動(dòng)型鍍膜系統(tǒng)，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜,。
主要特性
l通過(guò)高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過(guò)程,，避免樣品表面受損。
l操作容易快捷,，控制的參數(shù)包括放氣以及氬氣換氣控制。
l可用MTM-10高分辨膜厚控制儀（選件）精確測(cè)定所鍍膜的厚度,。
l數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響,，可得到一致的鍍膜速率和**的鍍膜效果,。
l可使用多種金屬靶材：Au， Au/Pd,，,，Pt，,，Pt/Pd（Au靶為標(biāo)配）,，靶材更換快速方便。
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技術(shù)參數(shù)
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濺射系統(tǒng) | |
樣品室大小 | 直徑120mm x 120mm 高 |
靶材 | Au 靶為標(biāo)配,， Au:Pd,， Pt， Pt:Pd （選件）; 大?。褐睆?/span>57mm x 0.1mm厚 |
樣品臺(tái) | 可以裝載12個(gè)SEM樣品座,，高度可調(diào)范圍為50mm |
濺射控制 | 微處理器控制，安全互鎖 |
濺射電流 | 5~45mA可調(diào) |
濺射頭 | 低電壓平面磁控管,，靶材更換快速,，環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩 |
計(jì)量表 | 真空： Atm - 0.001mbar，電流：0~50mA |
厚度監(jiān)控 (選件) | 使用MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀（選件）精確測(cè)定所鍍膜的厚度 |
控制方法 | 具有氣體換氣和泄氣功能,，帶有“暫?！笨刂频臄?shù)字定時(shí)器（5－300s） |
真空系統(tǒng) | |
真空泵 | 2級(jí)直連式高速真空泵 |
抽氣速率 | 3.0 m3/小時(shí)，真空度到 0.1mb所需時(shí)間30秒. |
極限真空 | 5 x 10-3mba |
桌上系統(tǒng) | 真空泵可置于抗震臺(tái)上,，全金屬集成耦合系統(tǒng) |
暫無(wú)數(shù)據(jù),！
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