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C11295 多點(diǎn)納米膜厚測(cè)量?jī)x
特性
多達(dá)15點(diǎn)同時(shí)測(cè)量
無(wú)參照物工作
通過(guò)光強(qiáng)波動(dòng)校正功能實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定測(cè)量
提醒及警報(bào)功能(通過(guò)或失敗)
反射(透射)和光譜測(cè)量
高速,、高準(zhǔn)確度
實(shí)時(shí)測(cè)量
不整平薄膜精確測(cè)量
分析光學(xué)常數(shù)（n,，k）
可外部控制
參數(shù)
| 型號(hào) | C11295-XX*1 |
| 可測(cè)膜厚范圍（玻璃） | 20 nm to 100 μm*2 |
| 測(cè)量可重復(fù)性（玻璃） | 0.02 nm*3 *4 |
| 測(cè)量準(zhǔn)確度（玻璃） | ±0.4 %*4 *5 |
| 光源 | 氙燈 |
| 測(cè)量波長(zhǎng) | 320 nm to 1000 nm |
| 光斑尺寸 | Approx. φ1 mm*4 |
| 工作距離 | 10 mm*4 |
| 可測(cè)層數(shù) | *多10層 |
| 分析 | FFT 分析，擬合分析 |
| 測(cè)量時(shí)間 | 19 ms/點(diǎn)*7 |
| 光纖接口形狀 | SMA |
| 測(cè)量點(diǎn)數(shù) | 2~15 |
| 外部控制功能 | Ethernet |
| 接口 | USB 2.0（主單元與電腦接口） RS-232C（光源與電腦接口） |
| 電源 | AC100 V to 240 V， 50 Hz/60 Hz |
| 功耗 | 約330W（2通道）~450W（15通道） |
*1：-XX,，表示測(cè)點(diǎn)數(shù)
*2：以 SiO2折射率1.5來(lái)轉(zhuǎn)換
*3：測(cè)量400 nm 厚SiO2 薄膜的標(biāo)準(zhǔn)偏差
*4：取決于所使用的光學(xué)系統(tǒng)或物鏡的放大率
*5：可保證的測(cè)量范圍列在VLSI標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量保證書中
*6：鹵素?zé)粜蜑镃11295-XXH
*7：連續(xù)數(shù)據(jù)采集時(shí)間不包括分析時(shí)間
暫無(wú)數(shù)據(jù),！
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