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薄膜的光學(xué)特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射測量系統(tǒng)可以用來進(jìn)行10nm~250µm的膜厚分析測量，對單層膜的分辨率為0.1nm,。根據(jù)測量軟件的不同,，可以分析單層或多層膜厚。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1,、可分析單層或多層薄膜

2,、分辨率達(dá)0.1nm

3、適合于在線監(jiān)測

操作理論

*常用的兩種測量薄膜的特性的方法為光學(xué)反射和透射測量,、橢圓光度法測量,。NanoCalc利用反射原理進(jìn)行膜厚測量。

查找n和k值

可以進(jìn)行多達(dá)三層的薄膜測量,，薄膜和基體測量可以是金屬,、電介質(zhì)、無定形材料或硅晶等,。NanoCalc軟件包含了大多數(shù)材料的n和k值數(shù)據(jù)庫,，用戶也可以自己添加和編輯。

應(yīng)用

NanoCalc薄膜反射材料系統(tǒng)適合于在線膜厚和去除率測量,，包括氧化層、中氮化硅薄膜,、感光膠片及其它類型的薄膜,。NanoCalc也可測量在鋼、鋁,、銅,、陶瓷,、塑料等物質(zhì)上的抗反射涂層、抗磨涂層等,。