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等離子體監(jiān)控系統(tǒng)
PlasCalc 等離子體監(jiān)測控制儀,，實現(xiàn)200nm-1100nm波段內(nèi)的等離子體測量，通過高級過程控制系統(tǒng)及精密數(shù)據(jù)存取算法,，只需3ms就可以獲得測量結(jié)果,。
1、光學分辨率1.0nm(FWHM)
2,、光譜范圍 200-1100nm
3,、快速的建模及存儲實驗方法
Recipe編輯器有助于簡單快捷的配置、構建及存儲實驗方法,。對一些困難的等離子體工序諸如膜沉積測量,、等離子體蝕刻監(jiān)測、表面潔度監(jiān)測,、等離子體室控制及異常污染,、排放監(jiān)測等，能夠快速簡單的構建模塊過程控制,。
隨PlasCalc配置的操作軟件,，集成的程式編輯器能夠容易實現(xiàn)多種數(shù)學算法功能?？蛇x的波長發(fā)生器（可以單獨購買）用于類型確認,，而波長編輯器可以用于優(yōu)化信噪比。雙窗口界面用于顯示實際光譜及所有過程控制信息,。
| 光譜范圍: | 200-1100 nm |
| 光學分辨率: | 1.0 nm (FWHM) |
| D/A 轉(zhuǎn)換: | 14 bit |
| 數(shù)字I/O: | 8 x TTL |
| 模擬輸出: | 4 x [0-10V] |
| 接口: | USB 1.1 |
| 功耗: | 12 VDC @ 1.25 A |
暫無數(shù)據(jù),！
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