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多功能離子減薄儀EM RES102
Leica EM RES102 通過離子槍激發(fā)獲得離子束，以一定入射角度對(duì)樣品進(jìn)行轟擊,，以去除樣品表面原子,，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的離子束加工,。
Leica EM RES102主要功能為：對(duì)無(wú)機(jī)薄片樣品進(jìn)行離子減薄,，使得薄片樣品可被透射電子穿過，從而適宜TEM透射電子顯微鏡觀察,；對(duì)無(wú)機(jī)塊狀樣品進(jìn)行離子束拋光,、離子束刻蝕，樣品表面離子清洗及斜坡切割,，便于SEM掃描電子顯微鏡觀察樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)信息,。
* 具有2把離子槍，離子束能量為0.8keV-10keV,，相對(duì)位置,，可分別±45°傾斜，樣品臺(tái)傾斜角度-120°至 210°,，離子束加工角度0°至90°,，樣品平面擺動(dòng)角度<360°,， 垂直擺動(dòng)距離±5mm。實(shí)際操作參數(shù)根據(jù)具體應(yīng)用需要選擇（系統(tǒng)備有參考參數(shù),，也可自行設(shè)置參數(shù)并存儲(chǔ)）
* 可選配樣品臺(tái)：TEM樣品臺(tái)（?3.0mm或?2.3mm）,，F(xiàn)IB樣品清洗臺(tái)，SEM樣品臺(tái),，斜坡切割樣品臺(tái)（對(duì)樣品35°或90°斜坡切割）等
* SEM樣品臺(tái)可容納**樣品尺寸：直徑25mm,，高度12mm
* 全無(wú)油真空系統(tǒng)，樣品室?guī)в蓄A(yù)抽室,，保證樣品交換時(shí)間<1分鐘
* 全電腦控制,，觸摸屏操作界面，內(nèi)置視頻觀察系統(tǒng),，可實(shí)時(shí)觀察樣品處理過程
暫無(wú)數(shù)據(jù),！
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