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MMR Hall Effect Measurement System

controlled continuously variable temperature

MMR可控連續(xù)變溫霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)

1. 功能描述： 測量半導(dǎo)體薄膜中載流子類型、載流子濃度,、遷移率,、電阻率,、霍爾系數(shù)等參數(shù)

2. 測試范圍： Si， SiGe,， SiC,， GaAs,， InGaAs,， InP， GaN (N Type & P Type)等材質(zhì)的半導(dǎo)體薄膜中載流子類型,、載流子濃度,、 遷移率、電阻率,、霍爾系數(shù)等參數(shù),。

3. 磁場強(qiáng)度：0.5T 電磁場，磁場強(qiáng)度可以定制選擇

4. 溫度區(qū)域: 70K ~730K,； 80K ~580K,； 80K ~730K； 300K ~730K

5. 電阻率范圍：10^-6~10¹³ Ohm*cm

6. 電阻范圍：10 m Ohms~ 10G Ohms

7. 載流子濃度：10²~10²²cm^-3

8. 遷移率: 10^-2~10⁹ cm²/volt*sec

儀器優(yōu)點(diǎn)：

1. 采用van der Pauw法測試;

2. **可測25mmX25mm樣品,，提供兩種樣品裝載方式：彈簧探針,、引線治具，以及兩個(gè)杜瓦瓶：全封閉和帶玻璃窗口各一 個(gè);

3. 配備電腦和相應(yīng)的控制軟件,，測試過程以及設(shè)備內(nèi)各個(gè)單元均由軟件控制,，永磁體需要手動翻轉(zhuǎn)樣品，電磁場測試過程全自 動,。測試數(shù)據(jù)能夠方便的儲存和導(dǎo)出;

4. 模塊化設(shè)計(jì),，可升級到溫度范圍更廣、磁場更大的系統(tǒng),，也可升級成塞貝克測量系統(tǒng);

5. 測試過程中,，由于致冷或加熱所引起的樣品振動幅度在um量級或更優(yōu);

6. 在同一個(gè)樣品室下進(jìn)行變溫霍爾效應(yīng)的測試，**變溫范圍70K~730K,。避免更換樣品室給測試帶來的不方便性和不連貫 性,，其他品牌低溫和高溫需要在高溫和低溫兩個(gè)樣品室下測試

7.允許在一定氣體環(huán)境下測試

8.提供石英透明窗口，可以測試光激發(fā)下電阻率