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HERA-DLTS

高能分辨率深能級瞬態(tài)譜（DLTS）

PhysTech在1990年推出了**臺數(shù)字DLTS，隨著電腦技術的發(fā)展,，使得在短時間內(nèi)進行復雜計算成為可能,。在純指數(shù)發(fā)射過程模型的基礎上，用各種數(shù)學模型分析測量到的瞬態(tài)過程,，如傅里葉轉換,、拉普拉斯轉換、多指數(shù)瞬態(tài)擬合,、ITS（等溫瞬態(tài)光譜）信號重疊法,、溫度掃描信號重疊法（重折疊）。與其他系統(tǒng)相比,，HERA-DLTS具有無法比擬的能量分辨率,。

半導體的摻雜濃度、缺陷能級位,、界面態(tài)(俘獲界面)是研究半導體性質(zhì)的重要手段,。此設備根據(jù)半導體P-N 結、金－半接觸結構肖特基結的瞬態(tài)電容（△C～t）技術和深能級瞬態(tài)譜（DLTS）的發(fā)射率窗技術測量出的深能級瞬態(tài)譜,，是一種具有很高檢測靈敏度的實驗方法,，能檢測半導體中微量雜質(zhì),、缺陷的深能級及界面態(tài)。通過對樣品的溫度掃描,，可以給出表征半導體禁帶范圍內(nèi)的雜質(zhì),、缺陷深能級及界面態(tài)隨溫度（即能量）分布的DLTS 譜。

特點：

• 自動接觸檢查

• 常規(guī)測試和加強軟件

• 自動電容補償

• 三終端FET電流瞬態(tài)測量

• 大電容和濃度范圍

• 靈活性高,、模塊化硬件

• 支持各種冷卻倉和溫度控制器

• 傅里葉轉換（F-DLTS）,，比例窗口和用戶自定義校正功能

• DLTFS（深層瞬態(tài)傅里葉光譜儀）評價

操作模式：

• C-DLTS

• CC-DLTS

• I-DLTS

• DD-DLTS

• Zerbst-DLTS

• O-DLTS

• FET-Analysis

• MOS-Analysis

• ITS（等溫瞬態(tài)光譜儀）

• 缺陷分析

• 俘獲截面測量

• I/V， I/V(T)理查森標繪圖

• C/V,， C/V(T)

• TSC/TSCAP

• PITS（光子誘導瞬態(tài)譜）

• DLOS(特殊系統(tǒng))

規(guī)格：

Options

• Constant Capacitance

• Optical Excitation

• Fast Pulse Interface

• ±100 V Option

• Multi Sample Interface