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FT-3110系列全自動(dòng)四探針測(cè)試儀
一.功能描述:
四點(diǎn)探針?lè)ǎ詣?dòng)化運(yùn)行測(cè)量系統(tǒng),,PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理,;參照A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)方法測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率和方塊電阻;可設(shè)定探針壓力值,、測(cè)試點(diǎn)數(shù),、多種測(cè)量模式選擇,;真空環(huán)境,可顯示:方阻,、電阻率,、顯示2D,3D掃描/數(shù)值圖,、溫濕度值,、提供標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)電阻件. 報(bào)表輸出數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析.
二.適用范圍
晶圓、非晶硅/微晶硅和導(dǎo)電膜電阻率測(cè)量,;選擇性發(fā)射極擴(kuò)散片,;表面鈍化片;交叉指樣PN結(jié)擴(kuò)散片,;新型電極設(shè)計(jì),,如電鍍銅電阻測(cè)量等;半導(dǎo)體材料分析,,鐵電材料,,納米材料,太陽(yáng)能電池,,LCD,,OLED,觸摸屏等.
三.技術(shù)參數(shù):
規(guī)格型號(hào) | FT-3110A | FT-3110B |
1.電阻 | 10^-5~2×10^5Ω | 10^-6~2×10^5Ω |
2.方塊電阻 | 10^-5~2×10^5Ω/□ | 10^-6~2×10^5Ω/□ |
3.電阻率 | 10^-6~2×10^6Ω-cm | 10-7~2×106Ω-cm |
4.測(cè)試電流 | 0.1μA.μA.0μA,,100μA,,1mA, 10mA,,100mA | 1A,、100mA、10mA,、1mA,、100uA、10uA,、1uA,、0.1uA |
5.電流精度 | ±0.1% | |
6.電阻精度 | ≤0.3% | |
7.PC軟件操作 | PC軟件界面:電阻、電阻率,、電導(dǎo)率,、方阻、溫度,、單位換算,、電流、電壓,、探針形狀,、探針間距,、厚度 、2D,、3D圖譜,、壓力、 報(bào)表生成等 | |
8.壓力范圍: | 探針壓力可調(diào)范圍:軟件控制,,100-500g可調(diào) | |
9.探針 | 針間絕緣電阻:≥1000MΩ,;機(jī)械游移率:≤0.3% 圓頭銅鍍金材質(zhì),探針間距1mm,;2mm,;3mm選配,其他規(guī)格可定制 | |
10.可測(cè)晶片 尺寸選購(gòu) | 晶圓尺寸:2-12寸(6寸150mm,,12寸300mm),; 方形片:大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm | |
11.分析模式 | 單點(diǎn)、五點(diǎn),、九點(diǎn),、多點(diǎn)、直徑掃描,、面掃描等模式的自動(dòng)測(cè)試 | |
12.加壓方式 | 測(cè)量重復(fù)性:重復(fù)性≤3% | |
13.安全防護(hù) | 具有限位量程和壓力保護(hù);誤操作和急停防護(hù);異常警報(bào) | |
14.測(cè)試環(huán)境 | 真空 | |
15.電源 | 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<100W | |
16.選購(gòu)項(xiàng)目 | 電腦和打印機(jī) |
暫無(wú)數(shù)據(jù),!