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FT-3110系列全自動四探針測試儀
一.功能描述：
四點探針法,，全自動化運行測量系統(tǒng),，PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理；參照A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)方法測試半導(dǎo)體材料電阻率和方塊電阻,；可設(shè)定探針壓力值,、測試點數(shù)、多種測量模式選擇,；真空環(huán)境,，可顯示：方阻、電阻率,、顯示2D,，3D掃描/數(shù)值圖、溫濕度值,、提供標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)電阻件. 報表輸出數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析.
二.適用范圍
晶圓,、非晶硅/微晶硅和導(dǎo)電膜電阻率測量；選擇性發(fā)射極擴散片,；表面鈍化片,；交叉指樣PN結(jié)擴散片,；新型電極設(shè)計，如電鍍銅電阻測量等,；半導(dǎo)體材料分析,，鐵電材料，納米材料,，太陽能電池,，LCD，OLED,，觸摸屏等.
三.技術(shù)參數(shù)：
規(guī)格型號 | FT-3110A | FT-3110B |
1.電阻 | 10^-5～2×10^5Ω | 10^-6～2×10^5Ω |
2.方塊電阻 | 10^-5～2×10^5Ω/□ | 10^-6～2×10^5Ω/□ |
3.電阻率 | 10^-6～2×10^6Ω-cm | 10-7～2×106Ω-cm |
4.測試電流 | 0.1μA.μA.0μA，100μA,，1mA,， 10mA，100mA | 1A,、100mA,、10mA、1mA,、100uA,、10uA、1uA,、0.1uA |
5.電流精度 | ±0.1% | |
6.電阻精度 | ≤0.3% | |
7.PC軟件操作 | PC軟件界面：電阻,、電阻率、電導(dǎo)率,、方阻,、溫度、單位換算,、電流,、電壓、探針形狀,、探針間距,、厚度 、2D,、3D圖譜,、壓力、 報表生成等 | |
8.壓力范圍： | 探針壓力可調(diào)范圍：軟件控制,，100-500g可調(diào) | |
9.探針 | 針間絕緣電阻：≥1000MΩ,；機械游移率：≤0.3% 圓頭銅鍍金材質(zhì)，探針間距1mm,；2mm,；3mm選配,，其他規(guī)格可定制 | |
10.可測晶片 尺寸選購 | 晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）,； 方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm | |
11.分析模式 | 單點,、五點、九點,、多點,、直徑掃描、面掃描等模式的自動測試 | |
12.加壓方式 | 測量重復(fù)性：重復(fù)性≤3% | |
13.安全防護 | 具有限位量程和壓力保護;誤操作和急停防護;異常警報 | |
14.測試環(huán)境 | 真空 | |
15.電源 | 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<100W | |
16.選購項目 | 電腦和打印機 | |
暫無數(shù)據(jù),！
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