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FT-3120 系列半自動(dòng)四探針測(cè)試儀
一.功能描述：
四點(diǎn)探針標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法,，采用步進(jìn)系統(tǒng)自動(dòng)控制探頭與樣品接觸,，減少人為因素對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響,；參照A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)；測(cè)量方塊電阻,、電阻率,、電導(dǎo)率數(shù)據(jù)、PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理實(shí)現(xiàn)自動(dòng)點(diǎn)測(cè)模式或手動(dòng)點(diǎn)測(cè)模式,，同一位置的重復(fù)測(cè)試或多點(diǎn)的面電阻測(cè)量,，報(bào)表輸出數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析；提供標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)電阻件.
二.適用范圍：
晶圓,、非晶硅/微晶硅和導(dǎo)電膜電阻率測(cè)量,；選擇性發(fā)射極擴(kuò)散片；表面鈍化片,；交叉指樣PN結(jié)擴(kuò)散片,；新型電極設(shè)計(jì)，如電鍍銅電阻測(cè)量等,；半導(dǎo)體材料分析,，鐵電材料，納米材料,，太陽(yáng)能電池,，LCD，OLED,，觸摸屏等.
三.技術(shù)參數(shù)：
規(guī)格型號(hào) | FT-3120A | FT-3120B | FT-3120C | FT-3120D |
1.電阻 | 10^-3～2×10^4Ω | 10^-5～2×10^5Ω | 10^-6～2×10^5Ω | 10-4～1×107Ω |
2.方塊電阻 | 10^-3～2×10^4Ω/□ | 10^-5～2×10^5Ω/□ | 10^-6～2×10^5Ω/□ | 10-4～1×107Ω/□ |
3.電阻率 | 10^-4～2×10^5Ω-cm | 10^-6～2×10^6Ω-cm | 10-7～2×106Ω-cm | 10-5～2×108Ω-cm |
4.測(cè)試電流 | 0.1μA.μA.0μA,，100μA，1mA,， 10mA,，100mA | 1A、100mA,、10mA,、1mA、100uA,、10uA,、1uA、0.1uA | 10mA ---200pA | |
5.電流精度 | ±0.1% | ±2% | ||
6.電阻精度 | ≤0.3% | ≤10% | ||
7.PC軟件操作 | PC軟件界面：電阻,、電阻率,、電導(dǎo)率、方阻,、溫度,、單位換算、電流,、電壓,、探針形狀,、探針間距、厚度 ,、數(shù)據(jù)管理分析：過(guò)程數(shù)據(jù),，大,、小值,，均值，方差,，變異系數(shù),，樣品編號(hào)，測(cè)試點(diǎn)數(shù)統(tǒng)計(jì)報(bào)表生成等 | |||
8.探針范圍： | 探針壓力為100-550g,；依據(jù)樣品接觸需要手動(dòng)調(diào)節(jié) | |||
9.探針 | 針間絕緣電阻：≥1000MΩ,；機(jī)械游移率：≤0.3% 圓頭銅鍍金材質(zhì)，探針間距1mm,；2mm,；3mm選配，其他規(guī)格可定制 | |||
10.可測(cè)晶片 尺寸選購(gòu) | 晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm,，12寸300mm）,； 方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm | |||
11.分析模式 | 自動(dòng)或手動(dòng)單點(diǎn)模式 | |||
12.加壓方式 | 測(cè)量重復(fù)性：重復(fù)性≤3% | |||
13.安全防護(hù) | 具有限位量程和壓力保護(hù);誤操作和急停防護(hù);異常警報(bào) | |||
14.測(cè)試環(huán)境 | 實(shí)驗(yàn)室環(huán)境 | |||
15.電源 | 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<100W | |||
16.選購(gòu)項(xiàng)目 | 電腦和打印機(jī) | |||
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