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FT-3120 系列半自動四探針測試儀
一.功能描述：
四點探針標準測試方法,，采用步進系統(tǒng)自動控制探頭與樣品接觸,，減少人為因素對測試結(jié)果的影響；參照A.S.T.M 標準,；測量方塊電阻,、電阻率、電導(dǎo)率數(shù)據(jù),、PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理實現(xiàn)自動點測模式或手動點測模式,，同一位置的重復(fù)測試或多點的面電阻測量，報表輸出數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析,；提供標準校準電阻件.
二.適用范圍：
晶圓,、非晶硅/微晶硅和導(dǎo)電膜電阻率測量；選擇性發(fā)射極擴散片,；表面鈍化片,；交叉指樣PN結(jié)擴散片；新型電極設(shè)計,，如電鍍銅電阻測量等,；半導(dǎo)體材料分析，鐵電材料,，納米材料,，太陽能電池,，LCD,，OLED，觸摸屏等.
三.技術(shù)參數(shù)：
規(guī)格型號 | FT-3120A | FT-3120B | FT-3120C | FT-3120D |
1.電阻 | 10^-3～2×10^4Ω | 10^-5～2×10^5Ω | 10^-6～2×10^5Ω | 10-4～1×107Ω |
2.方塊電阻 | 10^-3～2×10^4Ω/□ | 10^-5～2×10^5Ω/□ | 10^-6～2×10^5Ω/□ | 10-4～1×107Ω/□ |
3.電阻率 | 10^-4～2×10^5Ω-cm | 10^-6～2×10^6Ω-cm | 10-7～2×106Ω-cm | 10-5～2×108Ω-cm |
4.測試電流 | 0.1μA.μA.0μA,，100μA,，1mA， 10mA,，100mA | 1A,、100mA、10mA,、1mA,、100uA,、10uA、1uA,、0.1uA | 10mA ---200pA | |
5.電流精度 | ±0.1% | ±2% | ||
6.電阻精度 | ≤0.3% | ≤10% | ||
7.PC軟件操作 | PC軟件界面：電阻,、電阻率、電導(dǎo)率,、方阻,、溫度、單位換算,、電流,、電壓、探針形狀,、探針間距,、厚度 、數(shù)據(jù)管理分析：過程數(shù)據(jù),，大,、小值，均值,，方差,，變異系數(shù)，樣品編號,，測試點數(shù)統(tǒng)計報表生成等 | |||
8.探針范圍： | 探針壓力為100-550g,；依據(jù)樣品接觸需要手動調(diào)節(jié) | |||
9.探針 | 針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機械游移率：≤0.3% 圓頭銅鍍金材質(zhì),，探針間距1mm,；2mm；3mm選配,，其他規(guī)格可定制 | |||
10.可測晶片 尺寸選購 | 晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm,，12寸300mm）； 方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm | |||
11.分析模式 | 自動或手動單點模式 | |||
12.加壓方式 | 測量重復(fù)性：重復(fù)性≤3% | |||
13.安全防護 | 具有限位量程和壓力保護;誤操作和急停防護;異常警報 | |||
14.測試環(huán)境 | 實驗室環(huán)境 | |||
15.電源 | 輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<100W | |||
16.選購項目 | 電腦和打印機 | |||
暫無數(shù)據(jù),！
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