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Instec
來自液晶先驅(qū)院校美國科羅拉多大學(xué)的精密溫控裝置與液晶檢測設(shè)備
功能特點 |
可編程精密控溫。可獨立控制,，也可從上位機軟件控制 |
帕爾貼原理溫控,，使用時無需耗材 |
適用**100 mm尺寸晶圓 |
超低的盤面溫度梯度 |
獨立的上盤面真空吸氣槽，用于吸附固定多種尺寸晶圓 |
尺寸超薄,，可集成進探針臺 |
可快速裝載晶圓的凸起結(jié)構(gòu)臺面 |
軟件可拓展性強,，可提供LabView等語言的SDK |
#升級項# 性能可升級，詳見 配置列表 |
可做改動或定制,，詳詢上海恒商 |
技術(shù)參數(shù) | ||
通 用 參 數(shù) | 溫度分辨率 | 0.001℃ |
溫度穩(wěn)定性 | ±0.05℃(at 100℃)可提升穩(wěn)定性 | |
溫度均勻度 | ±0.1℃/cm 可升級均勻性 | |
*小控溫速度 | ±0.1℃/小時 | |
溫度傳感器 | 100Ω鉑質(zhì)RTD | |
溫控方式 | 直流式PID (變直流形式(LVDC)輸出) | |
*其他技術(shù)參數(shù)請參考 型號規(guī)格表 | ||
配置列表 | ||
標 準 | TC102S溫控晶圓夾盤 | 選1 |
TC104S溫控晶圓夾盤 | ||
mK2000溫度控制器 軟件免費,，控制線有多種接口供選 | √ | |
外殼水冷配件 用常溫水或冰水循環(huán)防止外殼過熱 | √ | |
升 級 | 提升熱臺的**溫度 | |
選 配 | 固定支架 把夾盤固定在使用平臺上，防止滑動 | |
溫控聯(lián)動顯微鏡相機 溫度-圖像聯(lián)動工作,，附軟件 | ||
*注：產(chǎn)品有多種配置變化,，詳詢上海恒商 | ||
型號規(guī)格表 | ||||
型號 | 盤面尺寸 | 適用樣品尺寸 | 溫度范圍 | **制熱速度 |
TC102S | 40 mm | 8 mm ~ 40 mm | -25℃ ～ 90℃ 可提升溫度范圍 | +30℃/分鐘(at 37℃) |
TC104S | 40 mm | 8 mm ~ 100 mm | -25℃ ～ 90℃ 可提升溫度范圍 | +30℃ /分鐘(at 37℃) |
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本公司為美國Instec中國區(qū)總代理、瑞典FLCE(FLC Electronics)中國區(qū)**代理,，不經(jīng)過中間商直接與原廠接觸,，能提供**惠的價格。
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