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用途:光刻工藝后段,,光刻膠固化
特點
•**工作溫度360℃和600℃、潔凈度100級,、氧濃度20ppm以下,。
•程序運轉(zhuǎn)功能,有自動/手動兩種操作模式,。
•快速升溫,、降溫,降溫時可采用空冷,、空冷加水冷兩種方式,。
•配置了自動門鎖、數(shù)字式壓力表,、數(shù)字式流量計等,。
•全不銹鋼材質(zhì),。
•在安全方面,,配置了自動過升防止、過升防止器,、氮氣壓力異常,、氮氣流量異常、過電流漏電保護(hù)斷路器等安全裝置,。
技術(shù)規(guī)格
型號 | 潔凈厭氧高溫氣氛爐 C1-008 | |
溫度范圍 | 室溫+30~360℃ | 室溫+50~500℃ |
溫度分布精度 | ±4.0℃(at 360℃) | ±8.0℃(a500℃) |
溫度上升時間 | 60min(室溫→360℃) | 90min(室溫→500℃) |
溫度下降時間 | 90min(360℃→50℃) | 120min(500℃→50℃) |
氧濃度 | 20ppm以下 | |
氧濃度下降時間 | 約45分鐘 | |
潔凈度 | 100級 | |
裝備 | 氮氣導(dǎo)入裝置,、水冷裝置、差壓計等 | |
內(nèi)尺寸 | W600×D600×H600mm | |
電源 | 3相 AC380V |
暫無數(shù)據(jù),!