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YAMATO高溫?zé)o氧烘箱/厭氧高溫氣氛爐DTN系列
YAMATO高溫?zé)o氧烘箱/厭氧高溫氣氛爐DTN系列

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浚和（上海）儀器有限公司

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潔凈度100級(jí)、氧濃度低于20ppm的氣氛爐,，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等,。

■特點(diǎn)：
● MAX工作溫度 360℃和 500℃、潔凈度 100 級(jí),、氧濃度低于20ppm,，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓（光刻膠 PI、PBO 固化）,、玻璃基板烘烤,、高精度退火處理等。
● 采用耐熱高性能高效過(guò)濾器,，箱內(nèi)潔凈度始終保持在 100 級(jí),，可在潔凈的環(huán)境下進(jìn)行高溫烘烤,。
● 高氣密性的壓力箱構(gòu)造，氧濃度到達(dá)時(shí)間短,，N2 消耗量極低,。
● 通過(guò)磁密封保持高氣密性，并采用水冷機(jī)構(gòu)保護(hù)密封部件免受熱量影響,。
● 可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫,，升降溫速率可調(diào)節(jié)。
● 標(biāo)準(zhǔn)裝備有廢液回收裝置,，對(duì)氣體進(jìn)行冷卻回收,。
■安全性：
●擁有門(mén)檢測(cè)開(kāi)關(guān)、溫度過(guò)升防止器,、氧濃度異常,、氮?dú)鈮毫z測(cè)、氮?dú)饬髁繖z測(cè),、冷卻水流量檢測(cè),、漏水傳感器、過(guò)電流漏電漏電保護(hù)開(kāi)關(guān)等安裝裝置,。
■規(guī)格：

■本體各部分的名稱(chēng)和功能：

■操作面板各部位名稱(chēng)和功能：

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