■特點(diǎn):
● MAX工作溫度 360℃和 500℃,、潔凈度 100 級(jí),、氧濃度低于20ppm,主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓(光刻膠 PI,、PBO 固化),、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等,。
● 采用耐熱高性能高效過濾器,,箱內(nèi)潔凈度始終保持在 100 級(jí),可在潔凈的環(huán)境下進(jìn)行高溫烘烤,。
● 高氣密性的壓力箱構(gòu)造,,氧濃度到達(dá)時(shí)間短,,N2 消耗量極低。
● 通過磁密封保持高氣密性,,并采用水冷機(jī)構(gòu)保護(hù)密封部件免受熱量影響,。
● 可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫,升降溫速率可調(diào)節(jié),。
● 標(biāo)準(zhǔn)裝備有廢液回收裝置,,對(duì)氣體進(jìn)行冷卻回收。
■安全性:
●擁有門檢測開關(guān),、溫度過升防止器,、氧濃度異常、氮?dú)鈮毫z測,、氮?dú)饬髁繖z測,、冷卻水流量檢測、漏水傳感器,、過電流漏電漏電保護(hù)開關(guān)等安裝裝置,。
■規(guī)格: