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中科院微電子研究所勻膠機(jī)旋涂?jī)xKW-4A
中科院微電子研究所勻膠機(jī)旋涂?jī)xKW-4A

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北京

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北京通世華港設(shè)備有限公司

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技術(shù)參數(shù)及要求:

基片尺寸: φ5-100mm圓片,,*/大 100×100mm 2 方片

轉(zhuǎn)速: 500-8000轉(zhuǎn)/分

轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性: 1%

旋涂均勻性: 1

旋涂工藝階段: 2 段

旋涂時(shí)間:Ⅰ速0~18S,*/大(0~60S),;Ⅱ速0~60S,,*/大(0~180S)

整機(jī)尺寸( 長(zhǎng)寬高 210 mm × 2 6 0 mm × 275 mm

裸機(jī)尺寸 長(zhǎng)寬高 210 mm × 2 6 0 mm × 1 55mm

電機(jī)功率: 40W

適應(yīng)材料:硅片、玻璃,、石英,、金屬、 GaAs ,、 GaN ,、 InP 等各種材料

配套 無(wú)油真空泵參數(shù):

型號(hào): K W 550A/KW 550T

抽速: 1 .5 升 秒

功率: 3 20W

噪音: 50db

ZUI低真空度: 700mmHg

重量: 7.3 Kg

尺寸 長(zhǎng)寬高 2 40mm40mm×160mm×230mm 抽氣速率: :>60L/min

創(chuàng)新點(diǎn)

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用戶評(píng)論

產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
評(píng)論內(nèi)容
暫無(wú)評(píng)論!
公司動(dòng)態(tài)
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