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技術(shù)參數(shù)及要求:
基片尺寸:Φ5-Φ100mm 圓片,,ZUI大100×100mm2 方片
轉(zhuǎn)速:250-9000RPM
旋涂設(shè)置:任意階段之間均可任意升降調(diào)節(jié)
轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:<±1%
旋涂均勻性:<1%
旋涂工藝階段:6 段
旋涂時間:單步工藝0-1800s,可根據(jù)客戶需求調(diào)節(jié)
整機尺寸(長寬高):210mm×280mm×248mm
裸機尺寸(長寬高):210mm×280mm×155mm
電機功率:40W
適應(yīng)材料:硅片,、玻璃,、石英、金屬,、GaAs,、GaN、InP 等各種材料
配套無油真空泵參數(shù):
型號:KW-550A/KW-550T
抽速:1.5 升/秒
功率:320W
噪音:50db
ZUI低真空度:-700mmHg
重量:7.3Kg
尺寸(長寬高):240mm×160mm×230mm
抽氣速率:>60L/min
暫無數(shù)據(jù),!