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東京精密粗糙度儀SURFCOM NEX可以對(duì)應(yīng)粗糙度測(cè)量,、輪廓測(cè)量,、粗糙度輪廓形狀綜合測(cè)量這三種功能，可以根據(jù)測(cè)量目的選擇相應(yīng)的傳感器,。而且使用的是線性驅(qū)動(dòng),，今天我們主要來說說東京精密nex必須使用線性驅(qū)動(dòng)的理由：

1、憑借線性驅(qū)動(dòng)部獲得令人吃驚的低振動(dòng)

無限提升傳感器的分辨率本身并非難事,。然而,，如果不重新審視傳感器的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，只是不必要地提升傳感器單體的分辨率,，那么就完全沒有意義,，這樣的規(guī)格也只是擺設(shè)而已。東京精密在全世界**在驅(qū)動(dòng)部搭載高精度線性馬達(dá)（已取得**）,，同時(shí)根本性地達(dá)到結(jié)構(gòu)上的“高精度極限點(diǎn)”,，以動(dòng)態(tài)分辨率的創(chuàng)意實(shí)現(xiàn)了****的實(shí)力提升。

2,、非接觸驅(qū)動(dòng)的有效性

線性馬達(dá)也適合往復(fù)運(yùn)動(dòng),，可準(zhǔn)確定位并進(jìn)行高速測(cè)量。傳統(tǒng)的控制是組合了電機(jī),、編碼器,、線性光柵尺的滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)控制，因此特別是對(duì)于三維表面性狀評(píng)價(jià)等,，由于準(zhǔn)確定位造成往復(fù)運(yùn)動(dòng)的控制響應(yīng)性出現(xiàn)了極限,。線性驅(qū)動(dòng)基本上是僅靠線性馬達(dá)和標(biāo)尺的簡單控制，因此可進(jìn)行高響應(yīng)性高精度的定位。

3,、對(duì)位

為了不損害線性馬達(dá)的超低振動(dòng)特性，安裝在X軸驅(qū)動(dòng)部的手動(dòng)進(jìn)給機(jī)構(gòu)在實(shí)際測(cè)量時(shí),，自動(dòng)將手動(dòng)齒輪機(jī)構(gòu)與線性測(cè)量機(jī)構(gòu)的連接分離開來,。這樣既確保了良好的操作性，又獲得了高精度,。此外,，在手持操作部，為了能夠在操縱桿操作以外切實(shí)操作微細(xì)的對(duì)位,，布局了微動(dòng)進(jìn)給用JOG撥盤,。

4、實(shí)現(xiàn)世界**水平的高速測(cè)量

線性驅(qū)動(dòng)部與無效運(yùn)動(dòng)極少的以1/100秒為單位的聯(lián)合控制與啟動(dòng)響應(yīng)相結(jié)合,，實(shí)現(xiàn)了總測(cè)量時(shí)間的大長縮短,。進(jìn)行三維粗糙度測(cè)量時(shí)，測(cè)量時(shí)間為“傳統(tǒng)測(cè)量時(shí)間的1/10x測(cè)量線數(shù)”,。如果測(cè)量時(shí)間短,，室溫變化等的測(cè)量誤差要素的影響就小，這直接關(guān)系到測(cè)量結(jié)果的可靠性,。

5,、擁有溫度補(bǔ)正系統(tǒng)，使精度保證溫度范圍擴(kuò)大到20℃±5℃

東京精密粗糙度儀SURFCOM NEX系列的驅(qū)動(dòng)部配備了標(biāo)準(zhǔn)溫度補(bǔ)正系統(tǒng),，使精度保證溫度范圍從原來的20℃±2℃擴(kuò)大到了20℃±5℃.以往,，因?yàn)闇囟茸兓鸬臒崦浝淇s會(huì)使X方向的指示精度受到影響，但是內(nèi)置的溫度傳感器會(huì)根據(jù)實(shí)際的變化,，自動(dòng)進(jìn)行補(bǔ)正,。溫度的補(bǔ)正與否對(duì)傳感器的精度影響非常大，通過組合實(shí)現(xiàn)溫度補(bǔ)正時(shí)NEX系列特有的功能,。

6,、免維護(hù)

日常不需要向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)加注潤滑脂、潤滑油,。因?yàn)楦牧蓑?qū)動(dòng)支持導(dǎo)軌面的材質(zhì)和機(jī)構(gòu),，對(duì)無給油進(jìn)行實(shí)證，實(shí)現(xiàn)了日常免維護(hù),。但是基于保證測(cè)量精度的觀點(diǎn),，我們推薦定期維護(hù)。