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PDHID氦離子化檢測器在線敏感檢測
適用于氣體工業(yè)，稀有氣體,，半導(dǎo)體氣體的領(lǐng)域進行痕量雜質(zhì)分析的自動化儀器
是生產(chǎn)線質(zhì)量控制和品質(zhì)保證*理想的檢測儀器
可任意配選,，以適用于多種應(yīng)用場合
根據(jù)用戶需要可提供所需的數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)輸出的方式
采用了國際***的Valco閥,、管路系統(tǒng)和檢測器

可選件

用戶自選的數(shù)字或模擬輸出
按照用戶需要，提供進樣系統(tǒng)和校準系統(tǒng)
擴展應(yīng)用所需部件
電子流量測量和認證
痕量濕度檢測
集成的架裝組件
特殊合金結(jié)構(gòu)或者Sulfinert® 或Silcosteel®鈍化系統(tǒng)
用戶自定義的報警系統(tǒng)
自動標(biāo)定和認證校準
遙控附件

技術(shù)支持

儀器的報價中含有終身的技術(shù)支持,。包括了對應(yīng)用適應(yīng)性的確認,，文件，現(xiàn)場安裝和培訓(xùn),。一旦儀器安裝完畢,，就可以方便地通過電話和遙控信息的的技術(shù)支持。

VICI 的TGA痕量氣體分析器是一種即裝即用的在線分析儀表,，硬件軟件齊全,，可立即用于分析ppb級各種痕量氣體雜質(zhì)。每臺儀器都可以按照用戶的具體技術(shù)要求,，用標(biāo)準的VICI部件配以分析方法,，操作條件和程序文件，組成用戶所需要的全套儀器,。
所有的VICI TGS的標(biāo)準應(yīng)用方式是檢測氦中的雜質(zhì),，同時也可以組合成檢測單元和多元氣體中的雜質(zhì)。取樣系統(tǒng)和工業(yè)級CPU可以裝入儀表架,，也可以自成獨立系統(tǒng)（如圖）。標(biāo)準的設(shè)置包括通過OPCserver軟件和自動日常維護程序的數(shù)據(jù)共享,。
定型產(chǎn)品

可以選擇下列配置完整的定型產(chǎn)品

測量氫氣中的PPB級含硫氣體
測量CO2中PPB級含硫氣體
測量常用氣（He,， H₂， Ar,， O₂,， N₂， CH₄,， C₂H₆,， NH₃， CO₂,， CO）中的雜質(zhì)
測量稀有氣體（He,， Ne， Kr,， Xe,， Rn）中的雜質(zhì)
測量半導(dǎo)體氣體H₂， SiH₄,， SiF₄,， HBr， CF₄,， CCl₄,， NF₃,， C₂F₆， C₃F₈,， N₂O,， C₂H₂， C₂H₆,， C₃H₄,， PH₃， AsH₃,， SF₆,， NH₃ 中的雜質(zhì)