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儀器特點(diǎn)：
稀釋氣質(zhì)量流量計(jì)可控制到0-10SLM,；
源氣質(zhì)量流量計(jì)可控制到0-100SCCM,；
4路校準(zhǔn)氣入口和1路吹掃口；
1路稀釋氣入口,，5路輸出口和1路排空口,；
55個(gè)按鍵薄膜鍵盤；
24位數(shù)字輸入/輸出,，
2路串行通訊輸出,，RS232輸出；
大而明亮的彩色顯示器,；
外部PC鍵盤接入端口,；
并行打印端口；
空氣源控制端口,。
性能參數(shù)：
稀釋入口：1路標(biāo)準(zhǔn),；
源氣入口：4路標(biāo)準(zhǔn)，1路吹掃,；
稀釋流量：0-10SLM（0-20SLM可選）,；
源氣流量：0-100SCCM/0-10000SCCM；
流量精度：≤±1%FS,；
流量重復(fù)：≤±0.15%FS,；
線性：≤±0.5%FS；
入口壓力：20-35 PSIG,；
多路輸出：標(biāo)準(zhǔn)6個(gè)輸出口,；
內(nèi)置臭氧發(fā)生器參數(shù)：
輸出：5SLPM下0.05-1.5ppm；
精度：1%SP或5SLPM下2ppb,；
流量：100±1 SCCM,；
紫外燈溫度：50±0.1℃。
內(nèi)置紫外吸收光度計(jì)參數(shù)：
量程：0-0.5，1.0,，2.0ppm,；
線性：±1ppb或±1%FS；
精度：±1ppb,；
零點(diǎn)漂移：<±1ppb/24小時(shí)或30天,；
流速：1.0 LPM；
模擬輸出：0-0.1/1/5V,。
內(nèi)置稀釋爐參數(shù)：
材質(zhì)：玻璃或特氟龍,；
尺寸：1個(gè)稀釋管；
可調(diào)溫度：高于環(huán)境溫度5度到65度,；
溫度精度：<±0.1℃,；
操作：55個(gè)按鍵，鍵盤或串行端口,；
校準(zhǔn)定義：20個(gè)工廠定義流路,；
校準(zhǔn)類型：氣體稀釋，臭氧,，GPT,；
氣體定義：2個(gè)稀釋氣，20個(gè)源氣,；
自動(dòng)校準(zhǔn)：20個(gè)程序驅(qū)動(dòng)定時(shí),，
7天事件，用戶可自定義,；
暫無(wú)數(shù)據(jù),！
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