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儀器特點：

稀釋氣質(zhì)量流量計可控制到0-10SLM,；

源氣質(zhì)量流量計可控制到0-100SCCM；

4路校準(zhǔn)氣入口和1路吹掃口,；

1路稀釋氣入口,，5路輸出口和1路排空口；

55個按鍵薄膜鍵盤,；

24位數(shù)字輸入/輸出,，

2路串行通訊輸出,，RS232輸出；

大而明亮的彩色顯示器,；

外部PC鍵盤接入端口,；

并行打印端口；

空氣源控制端口,。

性能參數(shù)：

稀釋入口：1路標(biāo)準(zhǔn),；

源氣入口：4路標(biāo)準(zhǔn)，1路吹掃,；

稀釋流量：0-10SLM（0-20SLM可選）,；

源氣流量：0-100SCCM/0-10000SCCM；

流量精度：≤±1%FS,；

流量重復(fù)：≤±0.15%FS,；

線性：≤±0.5%FS；

入口壓力：20-35 PSIG,；

多路輸出：標(biāo)準(zhǔn)6個輸出口,；

內(nèi)置臭氧發(fā)生器參數(shù)：

輸出：5SLPM下0.05-1.5ppm；

精度：1%SP或5SLPM下2ppb,；

流量：100±1 SCCM,；

紫外燈溫度：50±0.1℃。

內(nèi)置紫外吸收光度計參數(shù)：

量程：0-0.5,，1.0,，2.0ppm；

線性：±1ppb或±1%FS,；

精度：±1ppb,；

零點漂移：<±1ppb/24小時或30天；

流速：1.0 LPM,；

模擬輸出：0-0.1/1/5V,。

內(nèi)置稀釋爐參數(shù)：

材質(zhì)：玻璃或特氟龍；

尺寸：1個稀釋管,；

可調(diào)溫度：高于環(huán)境溫度5度到65度；

溫度精度：<±0.1℃,；

操作：55個按鍵,，鍵盤或串行端口；

校準(zhǔn)定義：20個工廠定義流路,；

校準(zhǔn)類型：氣體稀釋,，臭氧，GPT,；

氣體定義：2個稀釋氣,，20個源氣,；

自動校準(zhǔn)：20個程序驅(qū)動定時，

7天事件,，用戶可自定義,；