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GC8800系列
高純氣雜質(zhì)PDHID分析
高純氦雜質(zhì)分析
H2,,O2,,Ar,N2,,CO2,,CH4 *小檢測(cè)量?jī)?yōu)于 20ppb
高純二氧化碳雜質(zhì)分析
H2,O2,,Ar,,N2,CH4 *小檢測(cè)量?jī)?yōu)于 20ppb
高純氫雜質(zhì)分析
N2,,H2,,CH4,CO2,,CO*小檢測(cè)量?jī)?yōu)于 20ppb
下列儀器關(guān)鍵部件均由美國(guó)VICI等公司進(jìn)口
PDHID檢測(cè)器
氦氣純化器
流路系統(tǒng)
樣品過(guò)濾器
色譜柱
GC8802
SF6雜質(zhì)單柱PDHID分析
色譜儀
分析SF6中CO,CF4,,CH4,,CO2,C2F6,,SF6,,SO2F2,C3F8
GC8803
含氟氣體分析專(zhuān)用色譜
一次進(jìn)樣后完成全分析
檢測(cè)器:高靈敏度,、耐腐蝕的TCD
進(jìn)樣:VICI自動(dòng)采樣閥技術(shù)
采樣:無(wú)死體積采樣或在線(xiàn)采樣
方式,,一次性完成常見(jiàn)雜質(zhì)檢測(cè),。
重復(fù)性:RSD≤1%。
檢出限:H2-100ppm; F2-100ppm; Kr-500ppm; HCL-500ppm
暫無(wú)數(shù)據(jù),!