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稀釋氣質(zhì)量流量計可控制到0-10SLM,；
源氣質(zhì)量流量計可控制到0-100SCCM；
2路校準口入口和1路吹掃口,；
1路稀釋氣入口,，3路輸出口和1路排空口
稀釋入口：1路標準；
源氣入口：1路標準,，1路吹掃,；
稀釋流量：0-10SLM（0-20SLM可選）；
源氣流量：0-100SCCM（0-2SLM可選）,；
流量精度：≤1%FS；
流量重復：≤±0.15%FS,；
線性：≤±0.5%FS,；
響應時間：<1分鐘,；
操作：按鍵，鍵盤,，串口,，USB，以太網(wǎng),；
校準定義：20個工廠配置流路,，每個流路可**20個線性點,；
校準類型：稀釋氣,，臭氧,，GPT,；
儀器特點：
操作簡單,，方便；
溫度顯示穩(wěn)定,，可靠,；
壓力可調(diào)，面板帶壓力表；
可方便地放入滲透管,。
性能參數(shù)
溫度控制：基于微處理器的比例溫控系統(tǒng),；
溫度傳感器：RTD;
前面板安裝：調(diào)壓器，壓力表,，溫控器，稀釋爐入口
特氟龍爐身尺寸：內(nèi)徑3.09cm,，長度12.7cm,，
溫控范圍：高于環(huán)境溫度2℃到65℃,，
暫無數(shù)據(jù)！
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