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ESPion高級(jí)朗繆爾探針（Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation）可快速、可靠,、精確地進(jìn)行等離子體診斷,，是***可靠的朗繆爾探針（Langmuir Probe）。

技術(shù)參數(shù)：

應(yīng)用：

· 蝕刻/沉積/ 清潔等離子體

· 脈沖等離子體操作

· 離子密度 (Ni & Gi)

· 電子溫度(Te)

· 電子能量分布(EEDF)

· 電子密度(Ne)

· 等離子體電位

· Debye 長度,，懸浮電位

主要特點(diǎn)：

· 獲得數(shù)據(jù)速度：每秒15次掃描,，通過D-O-E-界面可以自動(dòng)、半自動(dòng)或手動(dòng)分析

· Hiden在被動(dòng)射頻補(bǔ)償方面處于**地位,，在所有的商業(yè)化探針中 ESPion 具

有**的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm)

· 高溫等離子體操作時(shí)的氣體制冷多感應(yīng)器鏈,，使用者可調(diào)諧至其他頻率

· 參考探針補(bǔ)償用于抵制較低頻率影響，例如等離子體電位漂移(例如,，反應(yīng)室

內(nèi)腔陽極氧化所致) 或噪音(例如,，供電源引起)

· ESPion 是所有商業(yè)化探針中*快速的脈沖等離子體探針，ESPsoft 包括所有

必需的標(biāo)準(zhǔn)脈沖選通電路

· 300,、600,、915mm 自動(dòng)線性驅(qū)動(dòng)器可選，互鎖隔離閥,， 90°探針,，組合式

線性－旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器可選

· 自清洗循環(huán)，防止探針尖端污染

· 經(jīng)由RS232,、RS485,、Ethernet LAN 和 ESPsoft軟件控制