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用途: 熱反射方法基于超高速激光閃射系統(tǒng),,可測(cè)量基片上金屬、陶瓷,、聚合物薄膜的熱物性參數(shù),,如熱擴(kuò)散系數(shù)、熱導(dǎo)率,、吸熱系數(shù)和界面熱阻,。此系統(tǒng)可測(cè)量厚度低至10nm的薄膜。同時(shí),,系統(tǒng)提供不同的測(cè)量模式,,以適應(yīng)于不同的基片情況(透明/不透明)。 |
性能: -由于激光閃射時(shí)間僅為納秒(ns)量級(jí),,甚至可達(dá)到皮秒(ps)量級(jí),,此系統(tǒng)可測(cè)量厚度低至10nm的薄膜。 -系統(tǒng)提供不同的測(cè)量模式,,以適應(yīng)于不同的基片情況(透明/不透明),。 RF測(cè)量模式:主激光源從反面加熱薄膜,檢測(cè)激光從正面測(cè)量薄膜的溫度升高過(guò)程,,從而計(jì)算薄膜的導(dǎo)熱性能參數(shù),。此模式適用于透明基片。 FF測(cè)量模式:主激光源從正面加熱薄膜,,檢測(cè)激光從正面測(cè)量薄膜的溫度下降過(guò)程,,從而計(jì)算薄膜的導(dǎo)熱性能參數(shù)。此模式適用于不透明基片,。 -該方法符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn): JIS R 1689:通過(guò)脈沖激光熱反射方法測(cè)量精細(xì)陶瓷薄膜的熱擴(kuò)散系數(shù),; JIS R 1690:陶瓷薄膜和金屬薄膜界面熱阻的測(cè)量方法。 |
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