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激光源產(chǎn)生的紫外/軟X射線輻射是Tingen在激光實驗室開發(fā)的,，由高脈沖能量YAG激光器（1064nm,，800mJ，7ns）聚焦于氣體電離產(chǎn)生,。不同的目標(biāo)氣體對應(yīng)不同的能譜分布,。
產(chǎn)品特點
● 低殘留
● 高EUV能量（3.5 MJ）
● *低耗氣量（氣體脈沖持續(xù)時間：<1 ms）
● 簡單目標(biāo)氣體交換
● 桌面系統(tǒng)
產(chǎn)品應(yīng)用
● 計量：反射測量、吸收
● 光譜學(xué)（nexafs）
● 光學(xué)/傳感器測試
● EUV損壞調(diào)查
● 材料相互作用基礎(chǔ)研究
● 水窗顯微鏡（λ=2..4納米）
技術(shù)參數(shù)
測試數(shù)據(jù)展示
咨詢電話：021-64149583,、021-56461550,、021-65061775
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