非金屬電熱元件:
硅鉬棒金屬電熱元件:
其他燒結(jié)氣氛:
氮氣溫控精度:
-最高溫度:
1800℃額定溫度:
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立式退火爐
1,、**設(shè)計溫度:1800℃
2,、常用溫度:1700℃
3、供電電源:AC380V±10%,3相4線, 50Hz
4,、加熱元件:硅鉬棒
5,、適用燒結(jié)氣氛:氮氣、一氧化碳,、氬氣
該設(shè)備主要用于半導(dǎo)體硅晶片的退火,、具有控溫精度高、溫度場均衡,、升降溫速率快,、可靠性高等特點,是制作半導(dǎo)體硅晶片材料的必備工藝設(shè)備