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從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓，甚至整個平板顯示器,，檢測期間不會對樣品造成破壞,。Axio Imager Vario支持的**樣品高度為254 mm，**橫向樣品空間為300 mm,，大大拓展了可以測試的樣品范圍,。機柱設(shè)計確保了良好的穩(wěn)定性?？蓾M足在潔凈室內(nèi)檢測晶圓的應用要求,。利用驅(qū)動Z軸的電動馬達與自動聚焦硬件確保自動調(diào)整至理想的聚焦位置。
潔凈室
半導體生產(chǎn)和晶圓檢測需要在潔凈室內(nèi)進行,。根據(jù)DIN EN ISO 14644-1標準,，以每立方米的顆粒數(shù)量和大小將潔凈室劃分成不同等級。Axio Imager Vario已通過此標準認證,，并滿足5級潔凈室的應用要求,。ISO 5級潔凈室相當于原先標準FED STD 209E（1992）的100級。潔凈室套件中包含一個7x物鏡轉(zhuǎn)盤,、一個顆粒保護罩和防噴嚏保護罩,。
具有兩種手動機柱和一種電動機柱（配有符合工業(yè)標準的三個模式控制按鈕）可供選擇，充分利用顯微鏡的最大橫向樣品空間300 mm x 300 mm和最大樣品高度254 mm的優(yōu)勢,。
Axio Imager Vario能通過物鏡轉(zhuǎn)盤的上下移動來聚焦樣品,。這意味著即便是較重的樣品，依然可以獲得高聚焦精度和可重復性,。
借助硬件自動對焦功能,，可以精準快速地聚焦低對比度的反射樣品。
將Axio Imager Vario與LSM 900結(jié)合使用,，能夠以高分辨率無接觸地分析敏感樣品
Axio Imager Vario已通過DIN EN ISO 14644-1認證,，并滿足5級潔凈室的應用要求。
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