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正置式顯微鏡品牌
卡爾蔡司產(chǎn)地
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從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓，甚至整個(gè)平板顯示器,，檢測期間不會對樣品造成破壞,。Axio Imager Vario支持的**樣品高度為254 mm，**橫向樣品空間為300 mm,，大大拓展了可以測試的樣品范圍,。機(jī)柱設(shè)計(jì)確保了良好的穩(wěn)定性?？蓾M足在潔凈室內(nèi)檢測晶圓的應(yīng)用要求,。利用驅(qū)動(dòng)Z軸的電動(dòng)馬達(dá)與自動(dòng)聚焦硬件確保自動(dòng)調(diào)整至理想的聚焦位置,。
潔凈室
半導(dǎo)體生產(chǎn)和晶圓檢測需要在潔凈室內(nèi)進(jìn)行。根據(jù)DIN EN ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn),，以每立方米的顆粒數(shù)量和大小將潔凈室劃分成不同等級,。Axio Imager Vario已通過此標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，并滿足5級潔凈室的應(yīng)用要求,。ISO 5級潔凈室相當(dāng)于原先標(biāo)準(zhǔn)FED STD 209E（1992）的100級,。潔凈室套件中包含一個(gè)7x物鏡轉(zhuǎn)盤、一個(gè)顆粒保護(hù)罩和防噴嚏保護(hù)罩,。
具有兩種手動(dòng)機(jī)柱和一種電動(dòng)機(jī)柱（配有符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的三個(gè)模式控制按鈕）可供選擇,，充分利用顯微鏡的最大橫向樣品空間300 mm x 300 mm和最大樣品高度254 mm的優(yōu)勢。
Axio Imager Vario能通過物鏡轉(zhuǎn)盤的上下移動(dòng)來聚焦樣品,。這意味著即便是較重的樣品,，依然可以獲得高聚焦精度和可重復(fù)性。
借助硬件自動(dòng)對焦功能,，可以精準(zhǔn)快速地聚焦低對比度的反射樣品,。
將Axio Imager Vario與LSM 900結(jié)合使用，能夠以高分辨率無接觸地分析敏感樣品
Axio Imager Vario已通過DIN EN ISO 14644-1認(rèn)證,，并滿足5級潔凈室的應(yīng)用要求,。
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