參考價(jià)格
面議型號(hào)
BTF-1200C-S-SL-PECVD品牌
貝意克產(chǎn)地
安徽樣本
暫無(wú)非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
鐵鉻鋁絲燒結(jié)氣氛：
真空溫控精度：
±1℃最高溫度：
1200℃額定溫度：
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一、設(shè)備簡(jiǎn)介
我公司研制的滑軌式PECVD系統(tǒng)能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū),，輝光均勻等效,，這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài),，這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象,。該款設(shè)備是全自動(dòng)Plasma增強(qiáng)CVD系統(tǒng)（PECVD）,，系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)滑動(dòng)溫區(qū)，連續(xù)可控制溫度及Plasma強(qiáng)度,。PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,，輝光放電等離子體中：
1、電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),，從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長(zhǎng)的一種新的制備技術(shù)。
2,、通過(guò)反應(yīng)氣態(tài)放電,，有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征，從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn),，工藝流程簡(jiǎn)單
二,、主要基本參數(shù)
1、加熱系統(tǒng)
使用溫度 | 1200℃ |
使用溫度 | ≤1100℃ |
爐膛有效尺寸 | Φ50mm |
爐膛材料 | 氧化鋁,、高溫纖維制品 |
熱電偶類型 | K型熱電偶 |
控溫精度 | ±1℃ |
控溫方式 | 30段可編程控溫,，PID參數(shù)自整定。 |
加熱長(zhǎng)度 | 230mm |
恒溫長(zhǎng)度 | 100mm |
加熱原件 | 電阻絲 |
供電電源 | 單相,，220V,，50Hz |
2、PE系統(tǒng)
功率輸出范圍 | 0W~150W |
射頻輸出接口 | 50 Ω, N-type, female |
功率穩(wěn)定度 | ≤5W |
諧波分量 | ≤-50dbc |
供電電壓 | 單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
整機(jī)效率 | >=70% |
功率因素 | >=90% |
冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |
3,、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)
連接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 |
標(biāo)準(zhǔn)量程（N2) | 50sccm,，100sccm、500sccm （可根據(jù)用戶要求定制） |
準(zhǔn)確度 | ±1.5%F.S |
線性 | ±1%F.S |
重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
響應(yīng)時(shí)間 | 氣特性：1～4 Sec,，電特性：10 Sec |
工作壓差范圍 | 0.1～0.5 MPa |
壓力 | ≤3MPa |
接口 | Φ6,1/4'' |
顯示 | 4位數(shù)字顯示 |
工作環(huán)境溫度 | 5~45高純氣體 |
壓力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止閥 | Φ6 |
內(nèi)外雙拋不銹鋼管 | Φ6 |
4,、低真空機(jī)組
空氣相對(duì)濕度 | ≤85% |
工作環(huán)境 | 5℃～40℃ |
工作電電壓 | 220V |
抽氣速率 | 10m3/h |
極限真空 | 5X10-1Pa（空載冷態(tài)） |
工作壓力范圍 | 1.01325X105～1.33X10-2Pa |
進(jìn)氣口口徑 | KF25 |
排氣口口徑 | KF25 |
連接方式 | 采用波紋管，手動(dòng)擋板閥與波紋管相連 |
暫無(wú)數(shù)據(jù),！
貝意克獎(jiǎng)學(xué)金計(jì)劃由安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司在2012年設(shè)立，主要針對(duì)就讀碩博期間的優(yōu)秀學(xué)生,，初創(chuàng)時(shí)叫愛(ài)心敬業(yè)獎(jiǎng),，之后演變成為貝意克獎(jiǎng)學(xué)金，至今已有13年,，累計(jì)獲得獎(jiǎng)學(xué)金人數(shù)近400人,。獲得過(guò)貝意克獎(jiǎng)
近日,，合肥市高新區(qū)2024年度高成長(zhǎng)企業(yè)榜單發(fā)布，貝意克再次獲得“2024年度合肥高新區(qū)瞪羚企業(yè)”稱號(hào),，充分彰顯了合肥高新區(qū)政府及權(quán)威審核機(jī)構(gòu)對(duì)貝意克在成長(zhǎng)速度,、創(chuàng)新能力及管理規(guī)范方面的高度認(rèn)可。&n
貝意克攜前沿科技,，亮相上海第八屆國(guó)際碳材料大會(huì)暨產(chǎn)業(yè)展覽會(huì)現(xiàn)場(chǎng)！本次展會(huì)將于12月5-7日在上海新國(guó)際博覽中心W1,、W2館盛大舉行,，來(lái)自全球的500多家行業(yè)企業(yè)齊聚上海，涵蓋金剛石,、培育鉆石,、石墨烯、
后摩爾定律時(shí)代推動(dòng)了碳基電子晶體管的快速發(fā)展,。5G通信和云計(jì)算促進(jìn)了基于碳納米管的場(chǎng)效應(yīng)晶體管在電子設(shè)備中的應(yīng)用,。本文將重點(diǎn)關(guān)注碳基電子領(lǐng)域的最新研究熱點(diǎn)，包括高頻晶體管,、生物醫(yī)學(xué)傳感器和制動(dòng)器,、腦機(jī)
小型滑軌式PECVD系統(tǒng)的工作原理介紹？小型滑軌式PECVD系統(tǒng)的使用方法,？小型滑軌式PECVD系統(tǒng)多少錢一臺(tái),？小型滑軌式PECVD系統(tǒng)使用的注意事項(xiàng)小型滑軌式PECVD系統(tǒng)的說(shuō)明書有嗎？小型滑軌式PECVD系統(tǒng)的操作規(guī)程有嗎,？小型滑軌式PECVD系統(tǒng)的報(bào)價(jià)含票含運(yùn)費(fèi)嗎,？小型滑軌式PECVD系統(tǒng)有現(xiàn)貨嗎？小型滑軌式PECVD系統(tǒng)包安裝嗎,？
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