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小型滑軌式PECVD系統(tǒng)
小型滑軌式PECVD系統(tǒng)

參考價格

面議

型號

BTF-1200C-S-SL-PECVD

品牌

貝意克

產(chǎn)地

安徽

樣本

暫無
安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

金牌會員

|

第13年

|

生產(chǎn)商

工商已核實

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核心參數(shù)
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    鐵鉻鋁絲
  • 燒結(jié)氣氛:

    真空
  • 溫控精度:

    ±1℃
  • 最高溫度:

    1200℃
  • 額定溫度:

    1100℃
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一、設(shè)備簡介

我公司研制的滑軌式PECVD系統(tǒng)能使整個實驗腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū),輝光均勻等效,,這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài),這樣離子化的范圍和強度是傳統(tǒng)PECVD的百倍,,并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象,。該款設(shè)備是全自動Plasma增強CVD系統(tǒng)(PECVD),系統(tǒng)可以實現(xiàn)連續(xù)滑動溫區(qū),,連續(xù)可控制溫度及Plasma強度,。PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中:

1,、電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而實現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù),。

2,、通過反應(yīng)氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點,,工藝流程簡單


二、主要基本參數(shù)

 1,、加熱系統(tǒng)

使用溫度

1200

使用溫度

≤1100

爐膛有效尺寸

Φ50mm

爐膛材料

氧化鋁,、高溫纖維制品

熱電偶類型

K型熱電偶

控溫精度

±1

控溫方式

30段可編程控溫,PID參數(shù)自整定,。

加熱長度

230mm

恒溫長度

100mm

加熱原件

電阻絲

供電電源

單相,,220V50Hz

 

2,、PE系統(tǒng)

功率輸出范圍

0W~150W

射頻輸出接口

50 Ω, N-type, female

功率穩(wěn)定度

≤5W

諧波分量

≤-50dbc

供電電壓

單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ

整機效率

>=70%

功率因素

>=90%

冷卻方式

強制風(fēng)冷


3,、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

標(biāo)準(zhǔn)量程(N2)

50sccm,100sccm,、500sccm

(可根據(jù)用戶要求定制)

準(zhǔn)確度

±1.5%F.S

線性

±1%F.S

重復(fù)精度

±0.2%F.S

響應(yīng)時間

氣特性:1~4 Sec,,電特性:10 Sec

工作壓差范圍

0.1~0.5 MPa

壓力

≤3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

壓力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6

內(nèi)外雙拋不銹鋼管

Φ6


4、低真空機組

空氣相對濕度

≤85%

工作環(huán)境

5℃~40℃

工作電電壓

220V

抽氣速率

10m3/h

極限真空

5X10-1Pa(空載冷態(tài))

工作壓力范圍

1.01325X105~1.33X10-2Pa

進氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

連接方式

采用波紋管,,手動擋板閥與波紋管相連


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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

10分
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暫無評論,!
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  • 小型滑軌式PECVD系統(tǒng)的工作原理介紹,?
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小型滑軌式PECVD系統(tǒng)信息由安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司為您提供,,如您想了解更多關(guān)于小型滑軌式PECVD系統(tǒng)報價,、型號、參數(shù)等信息,,歡迎來電或留言咨詢,。
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