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KYKY-EM6900掃描電鏡

產(chǎn)品特點(diǎn)：

◆分辨率高,成像質(zhì)量更好

◆翻開(kāi)式發(fā)叉結(jié)構(gòu)鎢絲陰極,更換燈絲方便

◆純中文操作界面,，具有一鍵成像功能

◆自動(dòng)調(diào)整功能:電子槍加熱,、偏壓、對(duì)中,、聚焦,、亮度、對(duì)比度,、消像散,、像散記憶等

◆自動(dòng)校正、自動(dòng)故障檢測(cè)

◆低維護(hù),、維修成本

性能指標(biāo)：

1.       分辨率:   3nm@30KV （SE）,；  6nm@30KV （BSE）

2.       放大倍率:  8～300000 倍

3.       電子槍:  翻開(kāi)式預(yù)對(duì)中鎢絲陰極

4.       加速電壓: 0～30kV連續(xù)可調(diào)，0-10kV步進(jìn)量為100V,，10kV以上步進(jìn)量為1kV

5.       具有一鍵看像功能

6.       透鏡系統(tǒng): 三級(jí)高性能錐形透鏡系統(tǒng)

7.       物鏡光闌：三個(gè)可在真空外調(diào)節(jié),，無(wú)需拆卸鏡筒即可更換物鏡光闌

8.       真空系統(tǒng)： 1個(gè)渦輪分子泵，1個(gè)機(jī)械泵,； 樣品室真空優(yōu)于2.6E-3 Pa ,，全自動(dòng)真空控制，具有真空互鎖功能,。

9.       探測(cè)器標(biāo)準(zhǔn)配置：

（1）        高真空二次電子探測(cè)器；

（2）        四分割半導(dǎo)體BSE探測(cè)器,；

（3）        紅外CCD攝像頭

10.    樣品室提供不少于2個(gè)可擴(kuò)展接口,，可接 WDS、EDS,、BSE 等多種附件和探測(cè)器

11.    樣品臺(tái)配置

五軸樣品臺(tái),，四軸自動(dòng)：

行程： X=70mm,Y=50mm,Z=45mm，R=360°,，T=-5°～+90°（手動(dòng)）

**樣品直徑: Ф175mm,；**樣品高度：35mm,；樣品臺(tái)有碰撞報(bào)警功能。

12.    圖像處理器

?  **4096×4096像素顯示

?  圖像文件格式：默認(rèn)格式為BMP,，可另存為GIF,、JPG、PNG,、TIF等格式