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Atto10手套箱是經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的一種手套箱蒸鍍一體機(jī),堅(jiān)固耐用的多功能設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)方案,。該系統(tǒng)可以手動(dòng)和自動(dòng)操作,,具有廣泛的沉積儀器選配,包括:電子束蒸發(fā)器,,射頻和直流濺射源,,低溫有機(jī)蒸發(fā)器和金屬蒸發(fā)器,。還有許多系統(tǒng)選項(xiàng)可用,,如 石英晶體監(jiān)測(cè),高真空負(fù)載鎖和加熱,,冷卻,,旋轉(zhuǎn)或靜態(tài)樣品臺(tái)。本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和Lab2000手套箱系統(tǒng)集成而成,,手套箱是一種與大氣隔絕的密閉環(huán)境的箱體,,各種裝配操作等工作能夠通過(guò)手套在箱體里面進(jìn)行,手套箱內(nèi)部無(wú)水,、無(wú)氧,,只充滿了高純惰性氣體,實(shí)現(xiàn)鍍膜機(jī)和手套箱的無(wú)縫連接,,解決鍍膜產(chǎn)品被水氧分子污染的問(wèn)題,。ATTO10一體鍍膜機(jī)
產(chǎn)品特點(diǎn)
既保證了高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,,又在手套箱高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測(cè),。
該系統(tǒng)具有高真空壓力和抽空時(shí)間測(cè)試,。
具有先進(jìn)編程能力的行業(yè)**軟件控制系統(tǒng),系統(tǒng)的靈活性,,
可以被配置為濺射系統(tǒng),,電子束系統(tǒng),OLED系統(tǒng),,熱蒸發(fā)系統(tǒng)或這些過(guò)程的任何組合,。
可以集成各種光學(xué)和光譜技術(shù),并將系統(tǒng)集成到需要惰性氣氛的研究手套箱中,。
產(chǎn)品應(yīng)用
半導(dǎo)體工業(yè)中MOCVD技術(shù),、微電子半導(dǎo)體、OLED/PLED開發(fā)與生產(chǎn),、鋰離子電池開發(fā)與生產(chǎn),、納米材料研究、催化劑研究,、鈣鈦礦太陽(yáng)能電池的研發(fā),。
暫無(wú)數(shù)據(jù)!