Hitachi FlexSEM 1000掃描電子顯微鏡, 采用大束流和低球差的物鏡和聚光鏡設(shè)計，配備了高分辨率二次電子（SE）探頭,、高靈敏度五分割背散射(BSE)探頭,、IXRF SDD3330 EDS能譜儀。加速電壓0.3-20kV,，底片放大倍率6-300,000x,。二次電子分辨率4.0nm（20kV）,、15.0nm(1kV),；EDS分辨率133eV，分析元素范圍Mg-Pu,?？梢詫Ω鞣N干燥無揮發(fā)的固態(tài)樣品的形貌、納米級形貌,、粒徑大小進行觀察和分析,；對金屬核殼結(jié)構(gòu)、礦石,、巖石中的金屬元素,、稀土元素分布，金屬在非金屬樣品中的分布都有非常清晰直觀的效果圖,；同時配備的能譜儀附件不僅可以對所觀察的樣品進行元素定性,、定量分析，還可以做出元素在樣品形貌上的面分布和線分布,。