Hitachi FlexSEM 1000掃描電子顯微鏡, 采用大束流和低球差的物鏡和聚光鏡設(shè)計(jì)，配備了高分辨率二次電子（SE）探頭,、高靈敏度五分割背散射(BSE)探頭,、IXRF SDD3330 EDS能譜儀。加速電壓0.3-20kV，底片放大倍率6-300,000x,。二次電子分辨率4.0nm（20kV）,、15.0nm(1kV)；EDS分辨率133eV,，分析元素范圍Mg-Pu,。可以對(duì)各種干燥無(wú)揮發(fā)的固態(tài)樣品的形貌,、納米級(jí)形貌,、粒徑大小進(jìn)行觀察和分析；對(duì)金屬核殼結(jié)構(gòu),、礦石,、巖石中的金屬元素、稀土元素分布,，金屬在非金屬樣品中的分布都有非常清晰直觀的效果圖,；同時(shí)配備的能譜儀附件不僅可以對(duì)所觀察的樣品進(jìn)行元素定性、定量分析,，還可以做出元素在樣品形貌上的面分布和線分布,。