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Thermo Scientifific? Apreo SEM 具有*廣泛地適用性,，可以 在*短時間內(nèi)為材料研究人員提供**的成像質(zhì)量,。 當(dāng) Apreo 的電子束打開，形貌和成分襯度可以同時被鏡筒內(nèi)探 測系統(tǒng)呈現(xiàn)：無需繁瑣操作,，即可快速探索并獲取樣品各方面 信息,。在高放大倍率下，Apreo 的長工作距離（如 10mm 分析 工作距離）也能表現(xiàn)出杰出的分辨性能,。即使在絕緣,、電子束敏 感或磁性的材料上，Apreo的用戶界面也可以高效地引導(dǎo)操作者 獲得表征該納米結(jié)構(gòu)的**參數(shù)條件,。 Apreo 能在短時間內(nèi) 解決錯綜復(fù)雜的研究問題,，適用于需要多功能以及多用戶操作 的應(yīng)用場合。 Apreo 是研究納米顆粒,、催化劑,、粉末和納米器件的理想平臺， 其創(chuàng)新的末級透鏡設(shè)計,，絲毫不會降低對磁性樣品的分辨能 力,。 靜電式末級透鏡（Apreo C 和 Apreo S）能夠?qū)崿F(xiàn)鏡筒內(nèi) 多種信號的同時探測和高分辨率，而 Apreo S 則結(jié)合靜電,、浸 沒式磁場的復(fù)合透鏡以進(jìn)一步提高低電壓下的分辨率,，在 1 kV  加速電壓下的分辨率為 1.0 nm，不需要電子束減速,。通過將浸 沒式磁透鏡和靜電透鏡組合還可以實現(xiàn)特有的信號過濾功能,。 Apreo 擁有透鏡內(nèi)背散射探測器 T1，其位置緊靠樣品,，確保在 較短的時間內(nèi)獲得**量的采集信號,。與其他背散射探測器不 同，這種快速的探測器在導(dǎo)航時,、傾斜時或工作距離很短時能 夠始終保持良好的材料襯度,。在表征敏感樣品時，探測器的優(yōu) 越性能尤為突出,，即使電流低至幾 pA,，它也能提供清晰的背散 射圖像,。Apreo S 復(fù)合末級透鏡通過能量過濾實現(xiàn)高質(zhì)量的材 料襯度以及絕緣樣品的無電荷成像，進(jìn)一步提高了 T1 BSE 探 測器的使用價值,。Apreo 還提供了受歡迎的選配探頭來補充其 探測能力,，例如定向背散射探測器(DBS)、STEM 3+ 和低真空氣 體分析探測器(GAD),。所有這些探測器都擁有獨一無二的軟件控 制分割功能,，以便根據(jù)需求選擇*有價值的樣品信息。

全面實現(xiàn)納米或亞納米分辨性能,，從納米顆粒,，粉末，催化 劑和納米器件到塊狀磁性樣品等材料,。 ***的背散射電子探測始終可保證良好的材料襯度,，即使 是以低電壓和小束流并以任何傾斜角度對電子束敏感樣品 進(jìn)行 TV 速率成像是也不例外。 無比靈活的探測器可將各個探測器分割提供的信息相結(jié) 合,，讓用戶能夠獲得至關(guān)重要的對比或信號強度,。 各種各樣的荷電緩解策略，包括樣品倉壓力**為 500 Pa  的低真空模式,，可實現(xiàn)任何樣品的成像,。 **的分析平臺提供高電子束電流，而且束斑很小,。倉室支 持三個 EDS 探測器,、共面的 EDS 和 EBSD 以及針對分析 而優(yōu)化的低真空系統(tǒng)。 樣品處理和導(dǎo)航極容易,，具有多用途樣品支架和 Nav-Cam+,。 通過高級用戶指導(dǎo)、預(yù)設(shè)和撤消功能為新用戶提供專 家級結(jié)果,。 高真空模式下成像的羥磷灰石晶體的低能量 (1 keV) 二次電子圖像,。

 每個 Apreo 都按標(biāo)準(zhǔn)配備各種用以處理絕緣樣品的策略，包 括：高真空技術(shù),，例如 SmartSCAN?,、漂移補償幀積分(DCFI) 和 電荷過濾。對于*有挑戰(zhàn)性的應(yīng)用,，Apreo 可提供電荷緩解策 略,。其中包括可選的低真空（**為 500 Pa）策略，通過經(jīng)現(xiàn)場 驗證的穿鏡式差分抽氣機構(gòu)和專用低真空探測器,，不但可以緩 解任何樣品上的電荷,，還能提供**的分辨率和較大的分析電 流。 隨著分析技術(shù)的使用越來越常規(guī)化,，Apreo 倉室經(jīng)過全新設(shè)計,， 以便更好地支持不同的配件和實驗,。倉室*多容納三個 EDS/ WDS 端口，可實現(xiàn)快速敏感的 X 射線測量,、共面 EDS/EBSD/ TKD 排列并與（冷凍）CL,、拉曼、 EBIC 和其他技術(shù)兼容,。 所有這些功能都能通過簡單的樣品處理和熟悉的 xT UI 獲得,， 節(jié)省了新用戶和專家級用戶的時間?？勺远x的用戶界面提供 了諸多用戶指導(dǎo),、自動化和遠(yuǎn)程操作選項。 通過所有這些優(yōu)勢（包括復(fù)合末級透鏡,、高級探測和靈活樣品 處理）,， Apreo 可提供出色的性能和多功能性,，幫助您應(yīng)對未 來多年的研究難題,。

.8 nm 電子光學(xué)器件 ? 高分辨率場發(fā)射 SEM 鏡筒，配有: – 高穩(wěn)定性肖特基場發(fā)射電子槍,，用于提供穩(wěn)定的高分辨率分 析電流 – 復(fù)合末級透鏡：靜電,、無磁場和浸沒磁技術(shù)結(jié)合而成的物 鏡* – 60° 物鏡幾何結(jié)構(gòu)：支持傾斜較大的樣品 ? 自動加熱式光闌，可確保清潔和無接觸式更換光闌孔 ? 支持低真空*的穿鏡式差分抽氣結(jié)構(gòu),，可減少電子束裙散效 應(yīng),，以實現(xiàn)*精準(zhǔn)的分析和**的分辨率 ? 載物臺偏壓在 -4000 V 到 +600 V 之間的電子束減速 ? 持續(xù)的電子束電流控制和經(jīng)過優(yōu)化的孔隙角度 ? 雙載物臺掃描偏轉(zhuǎn) ? 輕松安裝和維護(hù)的電子槍 – 自動烘烤、自動啟動,、無需機械合 軸? 保證的*短燈絲壽命：24個月 電子束分辨率 ,，**工作距離 型號 Apreo C Apreo S 末級透鏡 靜電式 復(fù)合式 高真空 30 kV (STEM) 0.8nm 15 kV 1.0 nm 0.7 nm 1 kV 1.3 nm 1.0 nm 1 kV (樣品臺減速) 1.0 nm 0.8 nm 500 V (樣品臺減速) 0.9 nm 100 V (樣品臺減速) 1.8 nm 低真空* 15 kV 1.2 nm 3 kV 1

默認(rèn)情況下，在完成*終安裝后的系統(tǒng)驗收測試中將檢驗在高真空并啟用浸沒 模式（如果適用）的情況下電壓為 1 kV 和 30 kV 時的分辨率,。 電子束參數(shù) ? 電子束電流范圍: 1 pA - 400 nA ? 加速電壓: 200 V – 30 kV ? 著陸能量范圍: 20 eV – 30 keV ? **水平視場寬：10 mm 工作距離下為 3.0 mm（對應(yīng)于 *小 放大倍率 x29） ? 10mm 分析工作距離 1kV 時電子束分辨率: 1nm 倉室 ? 內(nèi)寬: 340 mm ? 分析工作距離: 10 mm ? 12 個color:rgb(35,31,32);"> 500 Pa ? EDS 出射角度為 35° ? 可同時安裝三個 EDS 探測器, 兩個處于 180° ? 共面的 EDS/EBSD 與樣品臺的傾斜軸垂直,。 探測器 Apreo 通過可用探測器或探測器的分割部分的任意組合，*多 可同時探 測四個信號： ? Trinity 探測系統(tǒng) (透鏡內(nèi)和鏡筒內(nèi)) – T1 分割式透鏡內(nèi)低位探測器 – T2 透鏡內(nèi)高位探測器 – T3 鏡筒內(nèi)探測器* ? ETD – Everhart-Thornley SE 探測器 ? DBS – 可伸縮分割式透鏡下 BSED* ? 低真空 SE 探測器* ? DBS-GAD - 安裝在透鏡上的氣體分析 BSED ? STEM 3+ – 可伸縮分割式探測器（BF,、DF,、HADF、HAADF)* ? IR-CCD ? Nav-Cam+? - 安裝在倉室內(nèi)的樣品導(dǎo)航攝像頭 真空系統(tǒng) ? 完全無油的真空系統(tǒng) ? 1 × 220 l/s TMP ? 1 × PVP-渦旋泵 ? 2 × IGP ? 倉室真空（高真空）< 6.3 × 10-6 mbar（72 小時抽氣后） ? 抽氣時間：≤ 3.5 分鐘 ? 可選的低真空模式 ? 倉室壓力為 10 到500pa

lor:rgb(35,31,32);">分割和縫合 載物臺和樣品 類型 共心測角臺,，5 軸電動 XY 110 × 110 mm 重復(fù)性 < 3.0 μm (0° 傾斜時)  電動 Z 65 mm 旋轉(zhuǎn) n × 360° 傾斜 -15° / +90° **樣品高度 距共心點 85mm **樣品重量 任意載物臺位置均為 500g （0°傾斜時,，**為 2kg） **樣品尺寸 可沿 X、Y 軸完全旋轉(zhuǎn)時直徑為 122  mm（若樣品超過此限值,，則載物臺行程 或旋轉(zhuǎn)受限） 每個可選橫桿可容納 6 個 S/TEM 載網(wǎng) ? 晶圓和自定義支架* 系統(tǒng)控制 ? 64 位 GUI (Windows 7),、鍵盤、可選鼠標(biāo) ? 24 英寸 LCD 顯示屏,、WUXGA 1920 × 1200（第二臺監(jiān)視器 可選） ? 可定制的圖形用戶界面,，*多同時激活 4 個視圖 ? 圖像注冊 ? 蒙太奇導(dǎo)航 ? 圖像分析軟件 ? 撤消/重做功能 ? 有關(guān)基本操作/應(yīng)用的用戶指南 ? 可選操縱桿 ? 可選的手動用戶界面（旋鈕板） 圖像處理器 ? 駐留時間范圍為 25 納秒 - 25 毫秒/像素 ? ** 6144 × 4096 像素 ? 文件類型：TIFF（8,、16、24 位）,、JPEG 或 BMP ? 單幀或 4 視圖圖像顯示 ? SmartSCAN（256 幀平均或積分,、線積分和平均法、隔行 ? 掃描） ? DCFI（漂移補償幀積分） 配件（可選） ? 樣品/倉室清潔：FEI CryoCleaner,、FEI 集成的等離子清洗器 ? 分析：EDS,、EBSD、WDS,、CL,、拉曼 ? QuickLoader?：用于快速樣品傳輸?shù)慕粨Q倉 ? 導(dǎo)航：關(guān)聯(lián)導(dǎo)航、MAPS

2);">應(yīng)用培訓(xùn)合同 ? FEI 氣體注入：*多 2 個單位（其他配件可能會限制可用的 GIS 數(shù)）,， 適用于以下材料的電子束誘導(dǎo)沉積： – 鉑– 鎢– 碳? 機械手 ? 冷凍載物臺 ? 電氣探查/多探查臺 ? 靜電束閘 軟件選項 ? MAPS,，適用于自動采集大型圖像和可選的相關(guān)工作 ? iFast，提供高級自動化功能 ? 具有網(wǎng)絡(luò)連接的數(shù)據(jù)歸檔軟件 ? 高級圖像分析軟件 文檔 ? 在線用戶指南 ? 使用說明手冊 ? 在線幫助 ? 適用 RAPID（遠(yuǎn)程診斷支持） ? 免費訪問“FEI for Owners”在線資源 保修和培訓(xùn) ? 1 年保修 ? 可選服務(wù)維護(hù)合同 ? 可選操作/

35,31,32);">) 安裝要求 （請參考安裝前指南,，以獲取詳細(xì)數(shù)據(jù)） ? 電源： – 電壓：100 - 240 V AC（-6%,，+10%） – 頻率：50 或 60 Hz (±1%) – 能耗：< 3.0 kVA（基本款顯微鏡） ? 接地電阻：< 0.1 Ω ? 環(huán)境： – 溫度：(20 ± 3)°C – 相對濕度：低于 80% – 雜散 AC 磁場：在 20 ms（50 Hz 電源）或 17 ms（60 Hz 電 源） 線時間下，< 40 nT（異步）或 < 100 nT（同步） ? *小門尺寸：0.9 m 寬 × 1.9 m 高 ? 重量：鏡筒控制臺為 980 kg ? 建議使用干氮進(jìn)行放氣 ? 干凈,、干燥且無油的 4 - 6 bar 壓縮空氣 ? 系統(tǒng)水冷卻裝置 ? 噪音：根據(jù)相關(guān)聲譜進(jìn)行現(xiàn)場調(diào)查 ? <span style=";font-size:13px;font-family:FZLTXHK;col