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1200低真空CVD系統(tǒng)
1200低真空CVD系統(tǒng)

參考價(jià)格

20-30萬元

型號(hào)

YHGS-120612I-3ZD

品牌

上海煜志

產(chǎn)地

上海

樣本

暫無
杭州嘉悅智能設(shè)備有限公司

金牌會(huì)員

|

第9年

|

生產(chǎn)商

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簡(jiǎn)介

1200℃低真空CVD系統(tǒng)是由滑動(dòng)式管式實(shí)驗(yàn)電爐,混氣系統(tǒng),,真空及壓力系統(tǒng)等組成,。此系統(tǒng)燒結(jié)溫度可達(dá)1200℃,通過滑動(dòng)爐體來實(shí)現(xiàn)快速的升降溫;配置不同的真空系統(tǒng)來達(dá)到理想的真空度,;同時(shí)通過三路高精度質(zhì)量流量計(jì)控制不同氣體,。是為石墨烯生長(zhǎng)、研發(fā)的專用爐,,也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實(shí)驗(yàn),。

主要技術(shù)參數(shù)

爐體結(jié)構(gòu)

整機(jī)采用SUS304不銹鋼材質(zhì),流線型外觀,,斷熱式結(jié)構(gòu),;

日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好,;

爐子底部裝有一對(duì)滑軌,,移動(dòng)平穩(wěn);

爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端,,實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻,;

支撐兩端安裝油壓緩沖器;

爐蓋可開啟,,可以實(shí)時(shí)觀察加熱的物料

尺寸重量

1240*600*1340mm,;170kg

電源

電壓:AC220V 50/60Hz;功率:4KW

爐管

高純石英管,,高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng),,耐腐蝕,熱膨脹系數(shù)極??;

尺寸:Φ60/80/100*1200mm

法蘭及支撐

SUS304不銹鋼快速法蘭,通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空,;

一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接,,放、取物料方便快捷,;

可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,,平衡爐管的受力支撐;

包含進(jìn)氣,、出氣,、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合,。

 

加熱系統(tǒng)

加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲,,表面負(fù)荷高、經(jīng)久耐用,; 加熱區(qū)長(zhǎng)度:300mm,;恒溫區(qū)長(zhǎng)度:150mm; 工作溫度:≤1150℃; **溫度:1200℃,;

升溫速率:推薦≤10℃/min,,*快升溫速度30℃/min

溫控系統(tǒng)

日本富士?jī)x表,64段控溫程序,,可分步,、分段; 測(cè)溫元件:N型熱電偶,; 控溫精度:±1℃

混氣系統(tǒng)

三路質(zhì)量流量計(jì):數(shù)字顯示,、氣體流量自動(dòng)控制

內(nèi)置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥

管路采用不銹鋼管,,接口為Φ6卡套

每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥

通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量

流量規(guī)格:0~1SLM 流量精度:±1.5%

真空系統(tǒng)

采用雙極旋片真空泵,,真空度可達(dá)10Pa

可選配件

高真空系統(tǒng),各種剛玉,、石英坩堝,,石英管,計(jì)算機(jī)控制軟件

保修期

整機(jī)一年保修(相關(guān)耗材除外)

可根據(jù)客戶要求定制,!

特色與優(yōu)勢(shì)


1.滑動(dòng)式爐體結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)快速升降溫,;

2.開啟式爐蓋設(shè)置,降低沉積溫度,、加快沉積速度,;

3.日本富士溫控儀表,64段控溫程序,,可分布,,分段,三路質(zhì)量流量計(jì),,數(shù)字顯示精確控制氣體流量,;

4.雙極旋片真空泵+分子泵,實(shí)現(xiàn)對(duì)真空度的不同要求,,極限真空可達(dá)4.0*10-4Pa,。

創(chuàng)新點(diǎn)

暫無數(shù)據(jù)!

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暫無相關(guān)方案,。
用戶評(píng)論

產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
評(píng)論內(nèi)容
暫無評(píng)論,!
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