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PECVD系統(tǒng)就是為了使傳統(tǒng)的化學氣象沉積（CVD）反應溫度降低,，在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應裝置將反應氣體電離,，形成等離子體，利用等離子體的活性來促進反應,，所以這個系統(tǒng)稱為增強型化學氣相沉積系統(tǒng)（PECVD）,。
該型號PECVD為成儀**款，綜合了國內大多數(shù)廠家的管式PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點,，成膜質量好,，針孔較少，不易龜裂,。而且控制部分采用了成儀自主研發(fā)的實驗電爐AIO全自動智能控制系統(tǒng),，使得操作更加簡便，功能更加強大,。
主要特點：
1. AIO控制系統(tǒng)——加熱控制,、等離子射頻控制、氣體流量控制,、真空系統(tǒng)控制集中于一個7英寸觸摸屏進行統(tǒng)一集中調節(jié)和操控,，協(xié)調控制——成儀AIO控制系統(tǒng)；
2. 管內壓力自動平衡——管內壓力實時監(jiān)測,，自動平衡管內壓力,。
3. 智能氣路通斷——每路氣體均可定時通斷，省時省力,；
4. 射頻功率和開關定時控制——預先設定好功率的大小和打開與關閉的時間,，自動運行；
5. 爐膛移動速度可調——根據(jù)實驗要求,，用戶可設定爐膛左右移動的速度可距離,；
6. 整機結構融為一體——移動方便,，避免分散組裝的困擾,。
技 術 參 數(shù)
加熱爐部分 | ||
1 | 爐膛模式 | 開啟式爐膛 |
2 | 顯示模式 | 7英寸觸摸屏 |
3 | 極限溫度 | 1200℃ |
4 | 工作溫度 | ≤1150℃ |
5 | 升溫速率 | 建議10℃/Min Max：30℃/Min |
6 | 加熱溫區(qū) | 單溫區(qū) |
7 | 單溫區(qū)長度 | 200 mm |
8 | 爐管規(guī)格 | 60*1150 mm |
9 | 控溫精度 | ±1℃ |
10 | 密封方式 | 快速法蘭密封 |
11 | 溫度曲線 | 30段"時間—溫度曲線"任意可設 |
12 | 預存曲線 | 可預存15條溫度曲線 |
13 | 超溫報警 | 有 |
14 | 過流保護 | 有 |
15 | 斷偶提示 | 有 |
16 | 測溫元件 | K型熱電偶 |
17 | 爐膛材料 | 氧化鋁纖維 |
18 | 外形尺寸 | 800*560*1500MM |
射頻電源功率 | ||
1 | 信號頻率 | 13.56 MHz±0.005% |
2 | 功率輸出范圍 | 5W-300W |
3 | 功率穩(wěn)定度 | ±0.1% |
4 | 諧波分量 | ≤-50dbc |
5 | 供電電壓 | 單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
6 | 整機效率 | >=70% |
7 | 功率因素 | >=90% |
8 | 冷卻方式 | 強制風冷 |
9 | 真空部分 | |
10 | 工作電電壓 | 220V±10% 50~60HZ |
11 | 功率 | 500W |
12 | 抽氣速率 | 2Ls |
13 | 進氣口口徑 | KF16 |
14 | 排氣口口徑 | KF16 |
15 | 轉速 | 1450rpm |
16 | 噪音 | 55dB |
17 | 極限真空 | 4X10-2Pa |
氣路系統(tǒng)（標配2路普通質量流量計，更精準的可選配） | ||
1 | 1,2氣路采用DB07K系列 | |
準確度：±1.5% | ||
重復精度：±0.2% | ||
響應時間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec | ||
工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa | ||
2 | 3路采用高精度CS200系列 | |
準確度：±0.35%FS ±1.0%SP | ||
線性：±0.5%FS | ||
重復精度：±0.2%FS | ||
響應時間：氣特性：1Sec | ||
整機系統(tǒng)特色 | ||
1 | 正壓測量 | -100Kpa---100Kpa |
2 | 真空測量 | 10-2Pa ～100Kpa（支持Ar測量） |
3 | 正壓保護 | 支持 |
4 | 壓力恒定 | 支持 |
5 | 智能氣路 | 支持 |
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