前言
集成電路,,這一個(gè)資本壁壘和技術(shù)壁壘極高的行業(yè),,具有投入高、周期長(zhǎng),、風(fēng)險(xiǎn)大的特點(diǎn),。研磨拋光是集成電路制造的重要技術(shù),,但關(guān)鍵設(shè)備、耗材被國(guó)外供應(yīng)商壟斷,。當(dāng)今國(guó)際形勢(shì)風(fēng)云突變,,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)進(jìn)入快速發(fā)展期。隨著半導(dǎo)體和精密制造需求的推動(dòng),,產(chǎn)業(yè)資金投入的增加和優(yōu)秀企業(yè)人才的引入,,中國(guó)研磨拋光市場(chǎng)也不斷取得突破。
會(huì)議通知
會(huì)議背景隨著社會(huì)的發(fā)展,,工業(yè)的進(jìn)步,,軌道交通、電子電力和航空航天等領(lǐng)域?qū)τ诠β势骷男枨笈c日俱增,。其中,,晶圓、陶瓷基板等關(guān)鍵部件將持續(xù)爆發(fā),,而這些關(guān)鍵部件往往要求極精密的結(jié)構(gòu)尺寸和極高的平整度,,拋光作為該類(lèi)部件生產(chǎn)過(guò)程中最為關(guān)鍵的環(huán)節(jié),決定了產(chǎn)品整體質(zhì)量的好壞,。在晶圓制造材料的成本拆分中,,拋光材料占
原料技藝
企業(yè)動(dòng)態(tài)
江豐同創(chuàng)先導(dǎo)半導(dǎo)體材料及裝備產(chǎn)業(yè)集群項(xiàng)目落地臨港。
電科裝備具備四種碳化硅材料加工設(shè)備且提供智能集成服務(wù),,形成8至12英寸碳化硅材料加工智能解決方案,。
安集科技接待多家機(jī)構(gòu)調(diào)研時(shí)表示,,目前業(yè)務(wù)聚焦三大板塊,,采取“內(nèi)生”加“外延”發(fā)展戰(zhàn)略,不斷拓展,。
近日,,東莞金太陽(yáng)研磨股份有限公司接待平安基金等13家機(jī)構(gòu)調(diào)研。
3月20日,,鼎龍股份(300054)發(fā)布投資者關(guān)系活動(dòng)記錄表,公司3月19日接受3家機(jī)構(gòu)調(diào)研,。
技術(shù)創(chuàng)新
專(zhuān)家講堂
精準(zhǔn)調(diào)控納米粉體制備技術(shù)開(kāi)發(fā)
解決方案
CMP拋光墊是集成電路制造CMP制程中的關(guān)鍵材料,在CMP制程中提供穩(wěn)定可控的摩擦力,,同時(shí)實(shí)現(xiàn)拋光液的快速均勻分散,。拋光墊產(chǎn)品橫跨高分子化學(xué)、高分子物理,、有機(jī)合成,、摩擦學(xué)、精密加工等多學(xué)科領(lǐng)域,,技術(shù)復(fù)雜度極高,。鼎龍具備拋光墊產(chǎn)品全制程、全流程的研發(fā)生產(chǎn)能力,,是全球第一家做到拋光墊型號(hào)需求全覆蓋的公司
CMP拋光墊產(chǎn)品分類(lèi):吉致電子·拋光墊產(chǎn)品名稱(chēng):無(wú)紡布拋光墊/碳化硅SIC拋光墊/suba800替代產(chǎn)品特點(diǎn):吉致電子拋光墊滿(mǎn)足低,、中及高硬度材料拋光需求,針對(duì)碳化硅SIC拋光的4道工藝制程搭配不同型號(hào)拋光墊(粗磨墊/精磨墊/粗拋墊/精拋墊)具有高移除率,、高平坦性,、低缺陷和高性?xún)r(jià)比(177----06-----
吉致電子JEEZ碳化硅拋光墊上海研倍新材料專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)納米粉末二氧化硅拋光液SiO2納米材料1、產(chǎn)品信息貨號(hào)純度規(guī)格形貌備注RDB-FSY-SiO299.95%50-100nm球形30-40%2,、產(chǎn)品規(guī)格1,、樣品測(cè)試包裝客戶(hù)指定(<1kg/袋裝)2、樣品產(chǎn)品包裝(1kg/袋裝)3,、常規(guī)產(chǎn)品包裝(1kg/2kg/5kg/10kg)備
納米材料 二氧化硅拋光液 SiO2無(wú)錫吉致電子科技有限公司25年研發(fā)生產(chǎn)——TSVCMPCUSlurry/TSV銅化學(xué)機(jī)械拋光液/半導(dǎo)體cmp拋光液slurry/TSVCuSlurry/銅拋光液/TSV硅通孔拋光液/TSVCU拋光漿料TSV硅通孔的作用:提高集成度,、降低功耗系統(tǒng)地集成數(shù)字電路、模擬電路,。通過(guò)銅,、鎢、多晶硅等導(dǎo)電物質(zhì)的
吉致電子JEEZ TSV CMP CU Slurry 銅化學(xué)機(jī)械拋光液納米氧化鋯拋光粉基本信息:CAS#:1314-23-4性質(zhì):納米二氧化鋯拋光粉為高純白色粉末,,是不銹鋼,,玻璃、水鉆,、水晶,、金屬、各種石材系列精拋納米材料,。性能:1,、晶相穩(wěn)定、硬度高,、顆粒小且分布均勻,;2,、磨削力強(qiáng)、拋光快,、光度亮、鏡面效果好,;3,、研磨效率高,拋光效果好,,切削力強(qiáng),、出光快、能拋出均勻而
納米氧化鋯拋光粉1.采用混合稀土作為原料,,經(jīng)氟化焙燒制成的棕紅色拋光粉,,通用性強(qiáng),可用于多種光學(xué)元件,,晶體,,高 精度要求的平板玻璃等拋光。 2.平均粒度1.0-1.4微米,,**顆粒小于6um,,可滿(mǎn)足多種產(chǎn)品的精度要求。 3.拋光速度快,,顆粒耐磨性好,;懸浮性好,且易清洗,。
銳拋高精度稀土拋光粉R3312??主要優(yōu)勢(shì)在CMP步驟之后,,需要在低溫下使用稀釋的化學(xué)品進(jìn)行物理預(yù)清洗工藝,以減少顆粒數(shù)量,。盛美上海的Post-CMP清洗設(shè)備能夠滿(mǎn)足這些要求,,并提供多種配置,包括盛美上海自主研發(fā)的SmartMegasonixTM先進(jìn)清洗技術(shù),。特性和規(guī)格(UltraCWPN(WIDO))在線預(yù)清洗設(shè)備:可實(shí)現(xiàn)37
Post-CMP清洗設(shè)備【產(chǎn)品特點(diǎn)】可用于對(duì)陶瓷,、砷化鎵、磷化銦,、單晶金剛石,、金屬薄膜、多晶碳化硅等材質(zhì)或工件精細(xì)拋光的過(guò)程中,。材質(zhì):聚氨酯,、合成纖維等多種材質(zhì)。也可定制相對(duì)應(yīng)材料的拋光布,?!井a(chǎn)品參數(shù)】●尺寸:圓形,常規(guī)尺寸直徑300mm,更多尺寸規(guī)格可定制,;●厚度:0.8-2.0mm,,更多厚度規(guī)格可定制;●深加工:可針對(duì)
拋光墊華樾精細(xì)化工(昆山)有限公司氧化鈰拋光液分散劑1996A一般來(lái)說(shuō),,對(duì)拋光液的基本要求是磨粒均勻地懸浮分散在拋光液中,,且具有足夠的分布穩(wěn)定性。所以在拋光之前有必要對(duì)拋光液進(jìn)行過(guò)濾,,濾掉磨料聚集產(chǎn)生的微量大尺寸磨料顆粒,。然而,過(guò)濾并不能全部消除這種聚集現(xiàn)象,,因?yàn)樵趻伖獾膶?shí)際過(guò)程中,,工藝參數(shù)的變化會(huì)導(dǎo)致磨
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