前言
靜電吸盤是晶圓生產(chǎn)設(shè)備核心部件,，能固定晶圓，確保加工精度,，其生產(chǎn)技術(shù)是國內(nèi)芯片制造國產(chǎn)化需攻克的重要技術(shù)之一,。目前靜電吸盤已經(jīng)成為應(yīng)用最廣泛的晶圓夾持工具,，是等離子刻蝕、濕法刻蝕,、物理氣相沉積（PVD）,、化學(xué)氣相沉積（CVD）、原子層沉積（ALD）等多個半導(dǎo)體前道核心設(shè)備中的核心零部件,。
產(chǎn)業(yè)透視
靜電卡盤,，“卡”了我們的脖子,，它到底是啥？
靜電卡盤,，也稱靜電吸盤,，現(xiàn)在已經(jīng)廣泛應(yīng)用在等離子和真空環(huán)境下的半導(dǎo)體工藝過程中，比如刻蝕,、化學(xué)氣相沉淀,、離子植入等。
企業(yè)動態(tài)
國投創(chuàng)業(yè)完成對國內(nèi)高端半導(dǎo)體電子陶瓷與精密零部件領(lǐng)軍企業(yè)無錫海古德新技術(shù)有限公司的領(lǐng)投,。
珂瑪科技發(fā)布2024年年度報告,。
君原電子與東湖高新區(qū)簽約，將在光谷建設(shè)半導(dǎo)體靜電吸盤項目,。
卓瓷科技公司項目落戶武漢，生產(chǎn)核心零部件靜電卡盤,、陶瓷加熱器等產(chǎn)品等,。
TOTO通過利用其在陶瓷材料領(lǐng)域的專業(yè)知識,，已經(jīng)在半導(dǎo)體制造所需的“靜電卡盤”（ESC）市場取得了成功。
江豐電子擬向KSTE引進靜電吸盤生產(chǎn)技術(shù)及采購靜電吸盤生產(chǎn)線,。
寧夏北瓷收到中華人民共和國科學(xué)技術(shù)部下發(fā)的國家重點研發(fā)計劃課題任務(wù)書。
中瓷電子布局精密陶瓷零部件領(lǐng)域,，助力半導(dǎo)體設(shè)備零部件國產(chǎn)化。
中科金瓷（寧波）新材料技術(shù)有限公司參賽項目“半導(dǎo)體制程核心陶瓷零部件國產(chǎn)化”榮獲一等獎,。
重磅會議
解決方案
靜電吸盤
靜電吸盤,，是一種適用于大氣或真空環(huán)境的超潔凈薄片承載體、抓取搬運設(shè)備的總稱,。業(yè)內(nèi)簡稱為ESC或E-CHUCK,，靜電吸盤所使用的靜電吸附技術(shù)是一種替代傳統(tǒng)機械夾持、真空吸附方式的優(yōu)勢技術(shù),，在半導(dǎo)體,、面板顯示,、光學(xué)等領(lǐng)域中有著廣泛應(yīng)用。
氮化鋁靜電卡盤燒結(jié)爐
設(shè)備用途:靜電卡盤燒結(jié)設(shè)備規(guī)格:有效溫區(qū)尺寸:500x800mm加熱器:鎢板式壓雙筋加熱器(上中下全方位)上下為鎢網(wǎng)發(fā)熱體隔熱屏材料:W+Mo復(fù)合屏承載重量:2300KG(不含料架500kg)**溫度:2000℃C工作溫度:1850℃C溫度均勻性:±5℃℃(1500℃測溫環(huán)測試)升溫速率:0~20°
（氮化硅）氮化鋁粉體量產(chǎn)爐
氮化硅,，氮化鋁粉體量產(chǎn)爐設(shè)備用途:氮化硅,，氮化鋁，每化硼等粉體量產(chǎn)燒結(jié),。設(shè)備特點:1.溫度:2300攝氏度2.電力:55KW3.溫度分布精度:R104.發(fā)熱體:石墨5.壓力:微正壓6.氣氛:N2環(huán)境,，氧含量小于100ppm
高純氮化鋁
lCASNO.:24304-00-5l物化特性/PhysicalandChemicalProperties:型號/ModelRB-N-3外觀/Appearance灰白色粉末/Off-whitepowder元素/Element單位/Unit典型值/TypicalvaluePuritySippm≤5Fe
高純納米氧化鋁粉體
項目指標(biāo)Al2O3(%)99.9MgO(%)0.01Na2O(%)0.03SiO2(%)0.04Fe2O3(%)0.01H2O(%)0.1Ph值8.6原晶(μm)0.10D50(μm)0.21D97(μm)生坯密度(g/cm3)燒結(jié)密度(g/cm3)3.94比表面積（m2/kg)11.9收縮比線性收
多功能燒結(jié)爐
產(chǎn)品應(yīng)用多功能爐可在同一爐體內(nèi)實現(xiàn)真空、脫脂,、預(yù)燒結(jié),、氣壓燒結(jié),、熱壓燒結(jié)及快冷,，生產(chǎn)工序一次性完成，極大提升生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量,?？蓪嵤┰跉鍤狻⒌獨夂瓦€原性氣分保護下低壓力燒結(jié),，減少元素?fù)]發(fā)損失,。定向壓差氣流脫脂，強化脫脂效果,，爐內(nèi)無藏脂死角,，脫脂更加完全。主要應(yīng)用領(lǐng)域有：1,、硬質(zhì)合金,、CIM、MIM
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