編號(hào)：NMJS03129
篇名：金剛石、碳納米管,、碳納米管/納米金剛石復(fù)合物的制備及生長(zhǎng)機(jī)制研究
作者：秦宏宇,； 徐強(qiáng)； 楊光敏,；
關(guān)鍵詞：金剛石,； 碳納米管； 碳納米管/納米金剛石的復(fù)合物,； 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積,；
機(jī)構(gòu)： 長(zhǎng)春工程學(xué)院勘查與測(cè)繪工程學(xué)院； 長(zhǎng)春師范學(xué)院物理學(xué)院,；
摘要： 采用PECVD技術(shù),通過(guò)對(duì)基片使用不同的預(yù)處理方法和沉積參數(shù),合成了金剛石,、碳納米管及碳納米管/納米金剛石復(fù)合物.利用SEM,TEM,拉曼光譜對(duì)樣品的形貌、成分和結(jié)構(gòu)進(jìn)行了研究.結(jié)果表明,在制備樣品的過(guò)程中,基片的預(yù)處理方法和CH4/H2流量比至關(guān)重要,它們將影響所制得樣品的晶粒大小,、形核密度以及微觀結(jié)構(gòu).
