編號：CPJS01486
篇名：CaO-B_2O_3-SiO_2系LTCC基板材料的制備及燒結
作者：龍承毅,； 張樹人,； 周曉華,； 李波,；
關鍵詞：CaO-B2O3-SiO2,； LTCC,； 玻璃陶瓷,；
機構： 電子科技大學電子薄膜與集成器件國家重點實驗室,；
摘要： 通過高溫熔融法制備的CaO-B2O3-SiO2(CBS)系玻璃粉體(A料)與固相合成法制備的CaO-B2O3-SiO2-Al2O3粉體(B料)按照質量比7:3混合,燒結制備CBS系LTCC材料,研究不同燒結溫度對材料性能的影響,。結果表明:在850℃下燒結的CBS玻璃陶瓷致密性好,x-y方向收縮率為15.16%,密度為2.642g/cm3,εr=5.99(1MHz),tanδ<3.93×10-4(1MHz),抗彎強度σ=165MPa,具有良好的綜合性能,可用作LTCC基板材料。
