編號：FTJS02786
篇名：用脈沖激光沉積法在Al_2O_3上沉積類金剛石薄膜
作者：羅樂,； 儲雅瓊； 秦娟娟,； 方曉東,； 方尚旭； 陶汝華,；
關鍵詞：脈沖激光沉積法,； 類金剛石薄膜； 襯底溫度,； 沉積時間,； 黏附性； 微觀結構,；
機構： 合肥工業(yè)大學電子科學與應用物理學院,； 中國科學院安徽光學精密機械研究所；
摘要： 為了研究沉積時間和襯底溫度對類金剛石薄膜的影響,在用脈沖激光沉積法在Al2O3襯底上制備類金剛石薄膜的實驗中,保持其他實驗參數(shù)不變,先取沉積時間分別為15 min和40 min來沉積薄膜;再取襯底溫度分別30℃和300℃來沉積薄膜,。用顯微鏡觀察薄膜是否有起皺現(xiàn)象,用Raman光譜儀檢測薄膜的微觀結構,用原子力顯微鏡檢測薄膜的表面形貌,。結果表明:薄膜中存在一些石墨顆粒。沉積時間和襯底溫度對薄膜的黏附性和微觀結構均有顯著影響——延長沉積時間或升高襯底溫度都將導致薄膜內的殘余應力增加和薄膜起皺,�,？s短沉積時間或升高襯底溫度都將導致薄膜中的sp3/sp2比值減小,、非晶態(tài)的sp2鍵向石墨晶相轉化,、石墨晶粒數(shù)量增多,體積增大。最后,根據(jù)脈沖激光沉積類金剛石薄膜的機理對實驗現(xiàn)象進行了分析,。
