編號：FTJS02717
篇名：Co_2Z軟磁鐵氧體薄膜的磁性能
作者：郝思坤,； 黎偉,； 孟衛(wèi)民； 白建民,； 楊正,； 魏福林,；
關鍵詞：Ba3Co2Fe24O41； 鐵氧體,； 薄膜,； 濺射,； 熱處理； 磁性能,；
機構： 蘭州大學磁學與磁性材料教育部重點實驗室磁性材料研究所,；
摘要： 首先用球磨法制備了BaxCo2Fe24O41鐵氧體粉料,燒結后制得塊體材料,然后以其為靶材,用射頻磁控濺射的方法在單晶硅基片上制備了膜厚為100nm的鐵氧體薄膜。實驗表明,沉積態(tài)的薄膜為非晶態(tài)結構,經過高溫熱處理后形成了較好的磁鉛石結構,。研究了成分,、熱處理溫度、氧分壓對薄膜結構和磁性能的影響,。通過對熱處理溫度和氧分壓的調整,制備出性能較好的Ba3Co2Fe24O41薄膜,飽和磁化強度為46.8A.m2/kg,矯頑力為7.3 kA/m,。
