編號：FTJS02603
篇名：半導體用高純超細SiC粉體的表面改性
作者：李星,； 鐵生年,；
關鍵詞：超細粉體； 碳化硅,； 表面改性,； 分散性,； 流動性；
機構： 青海大學非金屬材料研究所,；
摘要： 通過偶聯(lián)劑預處理,、接枝聚合丙烯酸鈉兩步法對SiC粉體進行表面改性,制備聚丙烯酸鈉接枝改性SiC粉體,并對改性粉體進行表征,測試SiC粉體的zeta電位,討論改性對SiC粉體料漿分散穩(wěn)定性和流動性的影響,。結果表明:SiC微粉經(jīng)表面改性后并未改變原始SiC微粉的物相結構,只是改變其在水中的膠體性質;微粉團聚現(xiàn)象減少,分散性得到改善;改性SiC微粉與原始SiC微粉相比,表面特性發(fā)生很大變化,zeta電位值顯著提高,懸浮液的分散穩(wěn)定性得到明顯改善,且黏度降低。
